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EMS 575T雙頭高分辨率離子濺射鍍膜儀、EMS 550/EMS 500全自動(dòng)離子濺射鍍膜儀

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱海德創(chuàng)業(yè)(北京)生物科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)EMS 575T、
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間2022/7/22 10:49:53
  • 訪問(wèn)次數(shù)383
產(chǎn)品標(biāo)簽:

鍍膜儀、離子濺射儀、鍍碳儀

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海德創(chuàng)業(yè)(北京)生物科技有限公司,簡(jiǎn)稱海德生物。它的誕生,緣于幾個(gè)不甘寂寞、立志在生物領(lǐng)域做出一番事業(yè)的年輕人。共同的理想、共同的目標(biāo),使大家凝聚在海德創(chuàng)業(yè)的旗幟之下,認(rèn)認(rèn)真真做事,老老實(shí)實(shí)做人。 



海德生物代理國(guó)外產(chǎn)品的同時(shí),也在某些領(lǐng)域進(jìn)行著積極的探索和研究,它將會(huì)不斷的把自己較好的較早的產(chǎn)品提供給您。





海德生物是一個(gè)朝氣蓬勃、積極向上、富有活力的年輕企業(yè)。良好的企業(yè)文化、完善的管理體系、健全的客戶網(wǎng)絡(luò)、創(chuàng)新的戰(zhàn)略構(gòu)想、強(qiáng)大的人才優(yōu)勢(shì)為我們的發(fā)展奠定了良好的事業(yè)基礎(chǔ)。不怕做不到,就怕想不到。如果您科研中需要幫助,請(qǐng)找我們;如果您有好的創(chuàng)意或想法,請(qǐng)聯(lián)系我們。





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EMS 550/EMS 500全自動(dòng)離子濺射鍍膜儀、EMS 575T雙頭高分辨率離子濺射鍍膜儀
EMS 575T雙頭高分辨率離子濺射鍍膜儀、EMS 550/EMS 500全自動(dòng)離子濺射鍍膜儀 產(chǎn)品信息

   EMS 575T是一款渦輪泵雙頭高分辨率鍍膜儀(噴金儀)。EMS-575T樣本放置在旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)上(the rotary stage),蓋好蓋子(the chamber lid),按下啟動(dòng)按鈕,渦輪分子泵開(kāi)始加速,5秒鐘后,機(jī)械泵開(kāi)始啟動(dòng),同時(shí)十秒氣體排空程序啟動(dòng),兩個(gè)泵同時(shí)運(yùn)行確保一個(gè)高真空。當(dāng)渦輪泵加速,它的速度由柱狀圖來(lái)標(biāo)示,到達(dá)速度的一半時(shí),真空計(jì)扭至自動(dòng)狀態(tài)。當(dāng)腔內(nèi)氣體壓降為10-4 mbar,排氣開(kāi)始,腔內(nèi)氣壓維持在1 x 10-2 and 1 x 10-3 mbar之間,排氣的zui后階段,靶材按照預(yù)訂鍍膜時(shí)間開(kāi)始噴鍍。鍍膜需要兩種不同金屬的,不需要關(guān)泵,繼續(xù)濺射另一種金屬。噴鍍完成后,兩個(gè)泵停止,排氣閥排氣。

    儀器質(zhì)保期2年。模塊化的單元結(jié)構(gòu)使得儀器維護(hù)方便,摘掉問(wèn)題模塊,換上無(wú)問(wèn)題的模塊,儀器即可很好的運(yùn)行,一點(diǎn)不會(huì)耽誤實(shí)驗(yàn)進(jìn)程。

性能特征:
  • 全自動(dòng)一鍵式操作,微處理器數(shù)字控制方式,可預(yù)設(shè)參數(shù)
  • LCD屏實(shí)時(shí)顯示狀態(tài)參數(shù)
  • 質(zhì)保期:標(biāo)準(zhǔn)保修期為一年
  • 高分辨率精細(xì)鍍層(不超過(guò)0.5nm的鉻顆粒大?。?/div>
  • 薄金屬鍍層,典型5nm厚
  • 渦輪分子泵
  • Peltier冷卻雙濺射頭,無(wú)需冷卻水
  • 雙濺射頭:一次真空條件下,可順序?yàn)R射兩種不同的材料,對(duì)于需要依次噴鍍兩種金屬的樣品特別適用
  • 磁控濺射靶源設(shè)計(jì)
  • 旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵為備用泵,機(jī)械泵為外部安裝式
儀器參數(shù):
 

儀器尺寸
450mm(W) x 350mm(D) x 175mm(H)
工作腔室
硼硅酸鹽玻璃: 165mm(Dia.) x 125mm(H)
加不銹鋼底座
110mm(Dia.) x 115mm(H)
重量
42Kg
靶材
54mm(Dia.) x 0.2mm(Thick) (標(biāo)準(zhǔn)鉻靶材和金靶材)
樣品臺(tái)
60mm(Dia.) ,以60 r.p.m 旋轉(zhuǎn),一定的傾斜度
真空泵工作范圍 (Penning)
ATM to 1x10-7 mbar,鍍膜腔體極限真空度10-7 mbar
操作真空
1x10-3 mbar to 1x10-4 mbar
濺射電流
0-175mA
濺射時(shí)間
0-4 minutes
功率
1000v at 100 ma, 100 watts
沉積速率
30nm/min at 100ma
渦輪分子泵
60 litres/Second (Ultimate vacuum 1x10-8 mbar)
電源配置
230 volts 50Hz (6 amp Max incl pump)
Services
Argon ­ Nominal 4 psi
真空泵(*配件)
附帶真空管和油氣過(guò)濾器

 
訂購(gòu)信息:
 

貨號(hào)
產(chǎn)品名稱
規(guī)格
91110-TH
EMS 575T Twin Head Sputter Coater, complete with Target
臺(tái)
91005
Rotary Vacuum Pump
個(gè)
92045
EMS 50 Water Chiller
個(gè)

  EMS 550具有旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái),可傾斜,適合各種樣品。參數(shù)可預(yù)設(shè),全自動(dòng)控制保證獲得精確的鍍層厚度。低電壓濺射、冷濺射、精細(xì)顆粒等功能的使用,大大提高了工作效率。腔室直徑為165 mm(6英寸),非常方便裝載及移走樣品。 儀器裝有60mm直徑、0.1mm厚的金靶(可選)。可選靶材包括金/鈀,鉑/鈀和鉑。 各種功能都集中設(shè)計(jì)在儀表板上,使用方便,滿足不同學(xué)科的用戶使用要求。 濺射參數(shù)可預(yù)設(shè),包括氣體放氣針閥(此閥為電磁閥),一旦設(shè)置,就不需要再調(diào)節(jié)。濺射頭互鎖,系統(tǒng)可選配EMS250鍍碳附件。

    EMS 550本儀器為全自動(dòng)操作,可控制獨(dú)立的真空泵。EMS500是EMS550的手動(dòng)版本,其樣品臺(tái)不帶自動(dòng)旋轉(zhuǎn)功能,其它參數(shù)與EMS550*相同。下圖為EMS550的外觀圖片:

性能特征:
  • 旋轉(zhuǎn)且可傾斜樣品臺(tái)
  • 高質(zhì)量鍍層厚度(2nm 金膜)
  • 精確的可重復(fù)性能
  • 均勻沉積厚度
  • 復(fù)合樣本固定器
  • 全自動(dòng)控制
  • 低耗冷卻系統(tǒng),無(wú)需冷卻樣本及樣品臺(tái)
  • 低壓濺射
  • 20nm(或20埃)
  • 微電子控制
  • 聚碳酸酯安全殼體
儀器參數(shù):
 
儀器尺寸
450mm(W) x 350mm(D) x 175mm(H)
工作腔室
硼硅酸鹽玻璃: 165mm(Dia.) x 125mm(H)
安全罩
聚碳酸酯
重量
18Kg
靶材
60 mm 直徑 x 0.1mm 厚(金靶為標(biāo)準(zhǔn)靶材)
樣品臺(tái)
60mm(Dia.) ,靶面距在25mm-45mm之間可調(diào)
真空泵工作范圍
ATM-1x10-2 mbar
濺射電流
0-50mA
濺射鍍膜時(shí)間
0-4 minutes
沉積速率
0-25nm/分
電源配置
230 volts 50Hz (6 amp Max incl pump)
 
產(chǎn)品信息:
 
貨號(hào)
產(chǎn)品名稱
規(guī)格
91000
EMS 550 Sputter Coater complete with Target
臺(tái)
91000-MA
EMS 500 Manual Sputter Coater
臺(tái)
91005
Rotary Vacuum Pump
Targets 60mm (Dia.) x 0.1mm (Thick) fitted inclusive as standard
個(gè)
15700106413
產(chǎn)品對(duì)比
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