Ø 移動(dòng)范圍: X 軸驅(qū)動(dòng)部: 100mm,電動(dòng)立柱(垂直方向): 250mm
Ø Z 軸測量范圍:1000μm(粗糙度時(shí))、50mm(輪廓度時(shí))
Ø 直 線 度:粗糙度時(shí)(0.05+1.0L/1000)μm ,L:測量長度 (mm)輪廓度時(shí)1μm/100μm
Ø 測量精度(輪廓): Z 軸(垂直方向)指示精度 ±(1.8+│2H│/100)μm Z 軸分辨率 0.1μm/50mm,X 軸(橫方指示精度±(1+2L/100)μm ,L=測量長度(mm),粗糙度精度:X 軸分辨率0.1μm
Ø 粗糙度解析項(xiàng)目:測量參數(shù) (JIS ,ISO,DIN,ASME,CNOMO 等標(biāo)準(zhǔn))評(píng)價(jià)曲線 (斷面曲線,粗度曲線,波紋度曲線等)、特性圖形 (負(fù)荷曲線,振幅分布曲線等)
Ø 記錄倍率: 縱倍率(粗糙度用) 50,100,200,500,1K,2K,5K,10K,等及自動(dòng)橫倍率(粗糙度用)50,100,200,500,1K,2K,5K,10K,等及自動(dòng)縱倍率(輪廓用) 0.01~10,000,000 倍(任意,自動(dòng)可)橫倍率(輪廓用) 0.01~10,00,000 倍(任意,自動(dòng)可)
Ø 濾波種類:標(biāo)準(zhǔn)型濾波(2CR),位相補(bǔ)償濾波(2CR),高斯濾波.
Ø 取樣長度:0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8,25mm(7 種)及任意.
Ø 驅(qū)動(dòng)速度:粗糙度0.03~3mm/s ;波紋度 0.03~20mm/s
Ø 傳感器: 差動(dòng)變壓式原理和光柵尺