日立高新HITACHI(精工)FT9355型 X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x
日立高新HITACHI(精工)(SEA1000S、SEA1000A、SEA1000AⅡ、SEA1200VX、SEA6000VX,均能升級(jí)至測(cè)定鹵素,膜厚儀SFT-110、SFT9355、SFT9500),SFT9355系列產(chǎn)品,搭載了高性能X射線管,實(shí)現(xiàn)了高精度的測(cè)定。SFT9355極微小準(zhǔn)直管和可變焦距光學(xué)系統(tǒng)的組合,實(shí)現(xiàn)了對(duì)極微小部分的測(cè)定。對(duì)有段差的樣品也適用。
1.SFT9355搭載了75W高性能X射線管。
2.搭載標(biāo)準(zhǔn)的Φ50μm微小準(zhǔn)直管(zui小Φ15μm)。
3.容易對(duì)微小領(lǐng)域進(jìn)行觀察。SFT9355搭載了能4階段切換的可變焦距光學(xué)系統(tǒng)。
4.依據(jù)照明能很容易對(duì)以前觀察困難的樣品進(jìn)行觀察。
5.SFT9355搭載了防止有凹凸的樣品碰撞的傳感器。
6.搭載了焦點(diǎn)切換功能,能夠?qū)τ懈叨鹊臉悠返牡筒糠诌M(jìn)行測(cè)定。
7.SFT9355利用伺服馬達(dá)精確的驅(qū)動(dòng)平臺(tái)。
8.SFT9355運(yùn)用激光聚焦功能簡(jiǎn)單實(shí)現(xiàn)位置的調(diào)整。