【應(yīng)用場合】
半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路;
LCD、EL、PDP、TFT、玻殼、顯像管;
超純材料和超純化學(xué)試劑;
光導(dǎo)纖維、光盤;
汽車、家電表面電泳漆清洗用水;
其他高科技精微產(chǎn)品;
實(shí)驗(yàn)室和中試車間。
【工藝流程】
方案一
預(yù)處理→反滲透→初混→精混→終端后處理
方案二
預(yù)處理→二級反滲透→EDI(CDI)→終端后處理
方案三
膜法(UF)預(yù)處理→二級反滲透→EDI→膜脫氣→拋光→終端后處理
【水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)】
符合美國ASTM標(biāo)準(zhǔn),
電子部超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)
(18NO-CM,15MO-CM,2MO-CM和0.5MO-CM,四級)
【成套設(shè)備出水量】
ES系列0.5-2T/H
EM系列3-20T/H
EL系列30-100T/H