【概述/特點】
KOFLOC公司簡介:
日本Kofloc公司是一家專業(yè)制造質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器的廠家,在有廣泛的銷售和應(yīng)用.該公司產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導體,LCD,燃燒,實驗室分析,生物工藝等場合.
3200系列高等級質(zhì)量流量控制器
適用于半導體、LCD、燃燒、分析、生物工藝等方面實現(xiàn)高精度的快速控制
流量范圍:10~500SCCM,1~5SLM,10~20SLM
控制閥:常閉,電磁隔膜閥
控制范圍:2~*FS
反應(yīng)時間:0~*,小于等于1秒
精度:±1%以內(nèi)
線性:±0.5%以內(nèi)
重復(fù)性:±0.2%以內(nèi)
使用壓差:范圍≤5SLM時,49~294KPA, 5SLM <范圍≤20SLM時,98~294KPA
壓力限制:980KPA
泄露率:1 × 10–8 Pa?m3/second 或更小
操作溫度:0~50°C
接觸介質(zhì)的材質(zhì):本體: SUS316L
隔膜: SUS316
閥座: PTFE
密封材料: Byton TM (可選: 氯丁橡膠)
連接:1/4SWL,可選1/8SWL,1/4VCR和1/4RC
電氣連接:9針插座
控制信號:0-5VDC
]輸出信號:0-5VDC
電源:+15 VDC (±5%) 100 mA , –15 VDC (±5%) 200 mA