精密測量球面的曲率半徑的光學(xué)測量儀器。該儀器的測量原理是基于光學(xué)球面的頂點(diǎn)反射和表面反射成像原理而設(shè)計的。由于采用精密導(dǎo)軌和精密測長光柵尺,以及非接觸式的測量方法,保證了球面曲率半徑的微米級測長精度,并避免接觸測量所引入的測量誤差及表面劃傷。
儀器特色
非接觸測量 重復(fù)性好精度高 操作十分簡單
工作原理
本儀器是利用自準(zhǔn)直顯微鏡分別瞄準(zhǔn)被測球面的球心和頂點(diǎn)表面,經(jīng)球面反射后分別獲得的自準(zhǔn)直像的二者距離進(jìn)行測量的。顯微鏡測量系統(tǒng)是采用高精度直線導(dǎo)軌移動 , 讀數(shù)系統(tǒng)采用分辨率高達(dá) 0.001mm 高精度直線光柵測量得到的。
測量范圍
曲率半徑測量范圍: 凸面 R ≤ 30mm
凹面 R ≥ 25 至 1000 mm
被測透鏡夾持直徑: ¢ 5~ ¢ 150 mm
球面半徑測量精度
0~ 200mm 范圍內(nèi):± 0.003mm ;
≥ 200mm 范圍為:± 0.008mm ,
滿足樣板精度要求: ≤ 0.02%R(R ≥ 50 時 )
瞄準(zhǔn)顯微鏡物鏡
類別 | 放大倍數(shù) | 數(shù)位孔徑 NA | 瞄準(zhǔn)誤差(μ m ) | 工作距離( mm ) | 測量范圍( mm ) |
消色差
物鏡 | 4 X | 0.1 | 44 | 38.0 | R ≥ 500 |
10 X | 0.25 | 7 | 7.31 | R ≥ 100 | |
40 X | 0.65 | 1 | 0.50 | R ≥ 25 |
儀器讀數(shù)系統(tǒng)與規(guī)格
◆采用 1 米計量光柵讀數(shù),zui小示值: 0.001mm
◆電源: 220V
◆儀器外形尺寸: 1400*300*590mm
◆儀器重量: 50 kg