当着夫的面被夫上司玩弄,最近免费中文字幕中文高清百度 ,超碰CAOPORON入口,精品国产日韩一区二区三区

行業(yè)產(chǎn)品

  • 行業(yè)產(chǎn)品

大邁儀器上海有限公司


當(dāng)前位置:大邁儀器上海有限公司>技術(shù)文章>光刻膠烘干設(shè)備的選擇
技術(shù)文章

光刻膠烘干設(shè)備的選擇

閱讀:1452發(fā)布時(shí)間:2010-6-1

光刻膠烘干設(shè)備的選擇
    光刻工藝及其相關(guān)技術(shù)是微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)加工工藝的重要組成部分。均膠和烘干是光刻工藝中*的一道工序,為增加膠層與硅片表面粘附能力,提高在接觸式曝光中膠層與掩模版接觸時(shí)的耐磨性能及穩(wěn)定膠層的感光靈敏度,通常采用烘箱或加熱板等加熱設(shè)備對(duì)光刻膠進(jìn)行干燥。烘箱加熱由于速度慢、且加熱易造成表面和內(nèi)部受熱不均勻,效果欠佳!而加熱板易于達(dá)到在膠的厚度方向且快速均勻烘干等要求,目前越來(lái)越多地采用加熱板加熱的方式。
所以加熱板的表面溫度均勻性、溫度控制精度、溫度上升速度等是選擇加熱板的主要性能指標(biāo)考慮。
 
Smartlab數(shù)字型精密加熱板
采用高精度溫度控制器,PID控制,解析度0.1℃
14bit的A/D轉(zhuǎn)換分辨率,0.2%FS的顯示精度,取樣時(shí)間250ms,可手動(dòng)補(bǔ)償PV顯示值(PVOS)。內(nèi)建Autozero-Autospan功能,自動(dòng)校正零點(diǎn)及斜率,使顯示精度不因長(zhǎng)時(shí)間而劣化。
自動(dòng)演算(AT):使用自動(dòng)演算功能,可自動(dòng)算出系統(tǒng)*
化的PID參數(shù)數(shù)值。當(dāng)自動(dòng)演算進(jìn)行中,PV會(huì)上下震動(dòng)1~2個(gè)周期。為保護(hù)使用者的設(shè)備。可設(shè)定自動(dòng)演算偏移量(ATVL),使PV在數(shù)值較低處震蕩,有效避免沖溫效應(yīng)。

導(dǎo)熱性能的合金盤(pán)面
經(jīng)過(guò)多次實(shí)驗(yàn)和測(cè)試,公司研發(fā)出導(dǎo)熱性能且具有較高強(qiáng)度的合金盤(pán)面。保證了盤(pán)面加熱溫度的均勻性。并且長(zhǎng)時(shí)間使用不會(huì)變形,平整如初!

加熱元件的均勻排布
公司利用有限元熱分析方法對(duì)加熱板盤(pán)面溫度均勻性進(jìn)行了分析,經(jīng)多次模擬分析和調(diào)整,加熱結(jié)構(gòu),優(yōu)化設(shè)計(jì)出了滿(mǎn)足加熱板盤(pán)面溫度均勻性可達(dá)*要求的加熱元件排布方式,并以此為主要依據(jù)完成了整體結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)。目前加熱板升溫速度快,盤(pán)面溫度均勻,加熱元件耐用。

目前Smartlab數(shù)字型加熱板已被廣大客戶(hù)和研究機(jī)構(gòu)選用。
宏力半導(dǎo)體、恒諾微電子、信泰光電、統(tǒng)寶光電、風(fēng)華高新、TDK CO., LTD、辰田半導(dǎo)體、
上海交大微納院、復(fù)旦大學(xué)微電子系、世紀(jì)晶源科技有限公司、富士邁半導(dǎo)體精密工業(yè)、
*長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所、上海*表面等離子光學(xué)實(shí)驗(yàn)室

 
型號(hào) 解析度℃ 電熱W 外部尺寸cm
HP-306DN 0.1 3000 30*60*13
HP-303DN 1500 30*30*13
HP-202DN 800 20*20*13


環(huán)保在線 設(shè)計(jì)制作,未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ? Copyright(C)?2021 http://www.yixinui.com,All rights reserved.

以上信息由企業(yè)自行提供,信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé),環(huán)保在線對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。 溫馨提示:為規(guī)避購(gòu)買(mǎi)風(fēng)險(xiǎn),建議您在購(gòu)買(mǎi)產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

會(huì)員登錄

×

請(qǐng)輸入賬號(hào)

請(qǐng)輸入密碼

=

請(qǐng)輸驗(yàn)證碼

收藏該商鋪

請(qǐng) 登錄 后再收藏

提示

您的留言已提交成功!我們將在第一時(shí)間回復(fù)您~
吴忠市| 界首市| 德格县| 合水县| 台江县| 咸宁市| 法库县| 凤庆县| 大城县| 康马县| 湖南省| 北京市| 大石桥市| 湘潭县| 鹤山市| 乌兰县| 托克逊县| 姜堰市| 靖远县| 长宁区| 扬州市| 肇东市| 通化县| 精河县| 吴堡县| 镇康县| 安化县| 吉安县| 绥芬河市| 鱼台县| 宁波市| 任丘市| 华池县| 祁东县| 和平区| 宜州市| 潜山县| 玉门市| 江西省| 谢通门县| 福安市|