污水處理設(shè)備 污泥處理設(shè)備 水處理過(guò)濾器 軟化水設(shè)備/除鹽設(shè)備 純凈水設(shè)備 消毒設(shè)備|加藥設(shè)備 供水/儲(chǔ)水/集水/排水/輔助 水處理膜 過(guò)濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設(shè)備
大邁儀器上海有限公司
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經(jīng)營(yíng)模式:經(jīng)銷(xiāo)商
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所在地區(qū):上海上海市
聯(lián)系人:吳衛(wèi)平 (市場(chǎng)經(jīng)理)
閱讀:1452發(fā)布時(shí)間:2010-6-1
光刻膠烘干設(shè)備的選擇 | |||||||||||||||
光刻工藝及其相關(guān)技術(shù)是微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)加工工藝的重要組成部分。均膠和烘干是光刻工藝中*的一道工序,為增加膠層與硅片表面粘附能力,提高在接觸式曝光中膠層與掩模版接觸時(shí)的耐磨性能及穩(wěn)定膠層的感光靈敏度,通常采用烘箱或加熱板等加熱設(shè)備對(duì)光刻膠進(jìn)行干燥。烘箱加熱由于速度慢、且加熱易造成表面和內(nèi)部受熱不均勻,效果欠佳!而加熱板易于達(dá)到在膠的厚度方向且快速均勻烘干等要求,目前越來(lái)越多地采用加熱板加熱的方式。 所以加熱板的表面溫度均勻性、溫度控制精度、溫度上升速度等是選擇加熱板的主要性能指標(biāo)考慮。 | |||||||||||||||
Smartlab數(shù)字型精密加熱板 | |||||||||||||||
采用高精度溫度控制器,PID控制,解析度0.1℃ 14bit的A/D轉(zhuǎn)換分辨率,0.2%FS的顯示精度,取樣時(shí)間250ms,可手動(dòng)補(bǔ)償PV顯示值(PVOS)。內(nèi)建Autozero-Autospan功能,自動(dòng)校正零點(diǎn)及斜率,使顯示精度不因長(zhǎng)時(shí)間而劣化。 自動(dòng)演算(AT):使用自動(dòng)演算功能,可自動(dòng)算出系統(tǒng)* | |||||||||||||||
化的PID參數(shù)數(shù)值。當(dāng)自動(dòng)演算進(jìn)行中,PV會(huì)上下震動(dòng)1~2個(gè)周期。為保護(hù)使用者的設(shè)備。可設(shè)定自動(dòng)演算偏移量(ATVL),使PV在數(shù)值較低處震蕩,有效避免沖溫效應(yīng)。 | |||||||||||||||
導(dǎo)熱性能的合金盤(pán)面 經(jīng)過(guò)多次實(shí)驗(yàn)和測(cè)試,公司研發(fā)出導(dǎo)熱性能且具有較高強(qiáng)度的合金盤(pán)面。保證了盤(pán)面加熱溫度的均勻性。并且長(zhǎng)時(shí)間使用不會(huì)變形,平整如初! 加熱元件的均勻排布 公司利用有限元熱分析方法對(duì)加熱板盤(pán)面溫度均勻性進(jìn)行了分析,經(jīng)多次模擬分析和調(diào)整,加熱結(jié)構(gòu),優(yōu)化設(shè)計(jì)出了滿(mǎn)足加熱板盤(pán)面溫度均勻性可達(dá)*要求的加熱元件排布方式,并以此為主要依據(jù)完成了整體結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)。目前加熱板升溫速度快,盤(pán)面溫度均勻,加熱元件耐用。 目前Smartlab數(shù)字型加熱板已被廣大客戶(hù)和研究機(jī)構(gòu)選用。 宏力半導(dǎo)體、恒諾微電子、信泰光電、統(tǒng)寶光電、風(fēng)華高新、TDK CO., LTD、辰田半導(dǎo)體、 上海交大微納院、復(fù)旦大學(xué)微電子系、世紀(jì)晶源科技有限公司、富士邁半導(dǎo)體精密工業(yè)、 *長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所、上海*表面等離子光學(xué)實(shí)驗(yàn)室 | |||||||||||||||
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商鋪:http://www.yixinui.com/st1063/
主營(yíng)產(chǎn)品:賽多利斯;電子天平;hach;哈希;密理博Millipore純水機(jī);超純水機(jī);島津SHIMADZU試驗(yàn)機(jī);HANNA水質(zhì)分析儀器;WTW;德國(guó)羅威邦Lovibond分析儀器;分光光度計(jì);濁度計(jì);x-rite;色差儀;色度計(jì);烘箱;博力飛;粘度計(jì);酸堿度計(jì);電導(dǎo)度計(jì);磁力攪拌器;溫濕度記錄器;高溫爐;馬弗爐;水浴鍋;恒溫水槽;厚度計(jì);培養(yǎng)箱;攪拌機(jī);精密加熱板;循環(huán)水槽;離心機(jī);推拉力計(jì);移液器;水分計(jì);ISUZU;超聲波清洗機(jī);金相顯微鏡;
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