北京松信宏澤科技有限公司

：潘女士

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VSM系列超高真空真空計(jì)

典型應(yīng)用：
·分析儀器
·涂料廠和氣相沉積
·真空爐
·過程工程
·測量和控制超高真空
·濺射廠

優(yōu)點(diǎn)：
·傳感器測量范圍廣Pirani/cold cathode
·Pirani自動控制冷陰極傳感器
·Pirani傳感器可以保證冷陰極在低壓時(shí)的正常操作，延長使用壽命
·傳感器結(jié)實(shí)耐用
·測量單元體積小，例如VSM77D是9CM3
·良好的啟動裝置
·空氣入侵不影響測量
·兩個(gè)獨(dú)立、浮動電位繼電器開關(guān)
·LED顯示儀器狀態(tài)和開關(guān)點(diǎn)
·傳感器可更換
·Pirani和冷陰級傳感器的不同氣體的校正因子可以校準(zhǔn)壓力讀數(shù)
·可以連接Thyracont公司生產(chǎn)的2通道或4通道的顯示器VD12/VD10
·RS485接口和其它模擬輸出信號1.819-8.6V或EtherCAT
·通過按鍵或接口調(diào)整零點(diǎn)和大氣壓
·LCD顯示（VSM77DL，VSM79DL）
·如果出現(xiàn)錯(cuò)誤，屏幕閃爍紅色，正常工作狀態(tài)是綠色（VSM77DL，VSM79DL）
·和PLC連接方便
·數(shù)字輸出信號可以遠(yuǎn)程傳輸（zui遠(yuǎn)距離500米)
·波特率9.6kBd到115kBd
·金屬外殼，結(jié)實(shí)耐用
·通過不銹鋼小法蘭DN 25 ISO-KF或conflat法蘭DN 40 CF-F真空連接

尺寸mm

技術(shù)參數(shù)
傳感器          Pirani/inverted magnetron（依據(jù)氣體不同）
真空接觸材質(zhì)    不銹鋼1.4307、鎳，鎢，鉬，玻璃，陶瓷
測量范圍        1000到5×10-9mbar（750到5×10-9torr），zui大過壓4bar
精度            1000到10mbar:<30%讀數(shù)
                10到2×10-3mbar:<10%讀數(shù)
                2×10-3mbar到1×10-8mbar:<25%讀數(shù)
重復(fù)性          ±2%讀數(shù)（10到1×10-2mbar）
                ±7%讀數(shù)（1×10-2到1×10-8mbar）
響應(yīng)時(shí)間        200ms
陰極電壓        zui大2.5kV
供電電壓        20到30VDC
電氣連接        VSM77D/DL,VSM79D/DL:SubD,15pol.,male,lockable
                VSM77E,VSM79E:M12圓形接頭,female,lockable
                1x標(biāo)準(zhǔn)A,5針,2x密碼D,4針
電流            zui大3W，同時(shí)0.8Wf.EtherCAT/繼電器/LCD
操作溫度        5到60℃
存儲溫度        -40到65℃
zui高烘烤溫度    法蘭（電氣分離）上的溫度160℃
輸出信號        0到10VDC，測量范圍1.819-8.6VDC，log.，0.6V/等級
                負(fù)載電阻>10KΩ(VSM77D/DL,VSM79D/DL)
串行接口        RS485:9.6kBd到115kd，開關(guān)地址1-16
開關(guān)點(diǎn)          2個(gè)開關(guān)繼電器，50VAC/2A,30VDC/2A,zui大60VA
真空連接        DN 25 ISO-KF（VSM77),DN 40 CF-F（VSM79)
防護(hù)等級        IP54（VSM77E,VSM79E),IP40(VSM77D/DL,VSM79D/DL)
重量            約555克

訂貨代碼：
·VSM77D
真空計(jì)Pirani/inverted magnetron，1000到5×10-9mabr，DN 25 ISO-KF連接，輸出0-10V 和RS485
·VSM77DL
同VSM77D，帶LCD顯示
·VSM77E
同VSM77D，RS485輸出和EtherCAT
·VSM79D
真空計(jì)Pirani/inverted magnetron，1000到5×10-9mabr，DN 40 CF-F連接，輸出0-10V 和RS485
·VSM79DL
同VSM79D，帶LCD顯示
·VSM79E
同VSM79D，RS485輸出和EtherCAT

配件：
·W1515002
帶VD12和VD10的真空計(jì)VSM77D/DL和VSM79D/DL的連接線，線長2米
·W1515006
同W1515002，線長6米
·W1515020
同W1515002，線長20米
·B_VSM77
傳感器探頭，DN 25 ISO-KF，f.VSM77
·B_VSM79
傳感器探頭，DN 40 CF-F，f.VSM79

VSM系列超高真空真空計(jì)

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