在半導(dǎo)體及液晶面板行業(yè)超純水制程中,離子交換因其對TOC以及二氧化硅、硼等離子優(yōu)秀的脫除能力而被廣泛應(yīng)用。
預(yù)過濾水從活性炭過濾器出來后,即被導(dǎo)入陽、陰離子交換器由陽離子交換器的頂部流向底部;此陽離子交換器內(nèi)填裝有強酸性陽樹脂,包含鈣、鎂、鈉、銨根等陽離子在此與氫離子(H+)進行置換。
從陽離子交換器出來的水通過脫氣塔,去除二氧化碳,再流入陰離子交換器,陰離子交換器填裝有弱堿性陰離子樹脂(上層)與強堿性離子交換樹脂(下層),亞硫酸根、硝酸根、氯離子、氟離子等陰離子在此從水中去除。