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SIMCO離子風(fēng)棒5635

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產(chǎn)品型號(hào)5635

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更新時(shí)間：2022-06-07 15:29:39瀏覽次數(shù)：541次

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廣思科技（深圳）有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn) 介
5635型MP離子風(fēng)棒，是對(duì)應(yīng)用在先端半導(dǎo)體制造工程等100nm以下的微小型顆料除靜電器。
特點(diǎn)：

詳細(xì)介紹

簡(jiǎn) 介

5635型MP離子風(fēng)棒，是對(duì)應(yīng)用在先端半導(dǎo)體制造工程等100nm以下的微小型顆料除靜電器。

特點(diǎn)：

Ø 采用在世界上的電極材料單晶硅的優(yōu)勢(shì)，避免超低顆料特性的電極材料的重金屬污染的風(fēng)險(xiǎn)。

Ø 通過(guò)*的MP（脈沖調(diào)制）方式，可以有效的發(fā)揮離子除電性能。

Ø 平衡的電位，即使是在距100mm的距離也可用使用的特性及靜電桿長(zhǎng)且離子平衡度好。

Ø 通過(guò)智能控制電路，可自動(dòng)管理離子發(fā)生狀態(tài)及離子平衡度。

Ø 1/4圈可以拆卸更換電極，有助于減少維護(hù)工時(shí)。

Ø 電位波動(dòng)小的MP方式的特性，簡(jiǎn)化了組裝。另外，電位波動(dòng)小可以保持離子平衡度在管理的基準(zhǔn)內(nèi)。

Ø 設(shè)定了適合半導(dǎo)體前工序EFEM用的除靜電棒長(zhǎng)度。

Ø 內(nèi)置24V DC驅(qū)動(dòng)控制器的小巧緊湊型設(shè)計(jì)。

Ø 可用于高層次網(wǎng)絡(luò)。

產(chǎn) 品規(guī) 格

輸入電壓	24V DC + / -10％
輸出電壓	zui大可調(diào)至約13.5kv PP
安裝距離	100毫米?1000毫米（無(wú)空氣凈化）
離子生成方式	電暈放電法 PM（脈沖變調(diào)）方式變動(dòng)頻率　1 ～　33 Hz
離子平衡度	自動(dòng)平衡調(diào)節(jié)方法 <+/-10V內(nèi)離子風(fēng)棒直下根據(jù)位置的不同會(huì)有差異<+/-10v （600 mm距離）
電極	單晶硅電極可更換
吹氣	清潔干燥的空氣或氮?dú)?/span>
zui大氣壓力	310Kpa
臭氧產(chǎn)生量	<0.05PPM（24時(shí)總值）
信號(hào)輸出	報(bào)警IO 電極輸出
尺寸	高78mm寬34mmt長(zhǎng)（如下值） 450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750 / 1900/2050/2200/2350Mm
外觀(guān)	ABS樹(shù)脂