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    四極質(zhì)譜計(jì)的檢漏方法以分子泵為主抽泵，三極式鈦離子泵為輔助泵的金屬超高真空系統(tǒng)為例，泵對(duì)真空室部分的有效抽速約為50升／秒，該系統(tǒng)專為真空器件放氣特性測(cè)試而設(shè)計(jì)。四極質(zhì)譜計(jì)有倍增器和法拉第筒兩種接收方式，設(shè)二個(gè)質(zhì)量量程，分別為1－50和2－200原子質(zhì)量單位，進(jìn)行檢漏工作時(shí)用低質(zhì)量數(shù)量程。迅達(dá)真空泵主要操作原理說(shuō)明如下：1.全質(zhì)量量程掃描，判斷真空殘氣狀態(tài)當(dāng)真空系統(tǒng)壓強(qiáng)低于1×10－3Pa后，可開(kāi)啟質(zhì)譜計(jì)（本文用倍增器接收離子流，以獲得高的靈敏度和檢測(cè)速度），測(cè)試1－50質(zhì)量數(shù)量程的全譜圖說(shuō)明真空系統(tǒng)的氣氛質(zhì)量。M為18的水峰為主峰，說(shuō)明真空殘氣是水，系統(tǒng)必須進(jìn)行烘烤除氣，待水峰明顯下降后，再進(jìn)行有無(wú)漏氣的詳細(xì)判斷。新裝的真空系統(tǒng)，往往有*的水峰存在。如果元件沒(méi)有進(jìn)行干燥預(yù)處理，水峰高度可占有所有峰高和的百分之90以上。除高強(qiáng)度的水峰存在外，其它的質(zhì)譜峰幾乎都是碳?xì)浠衔锏乃槠?，它們?lái)自各種殘留有機(jī)洗液、返流的泵油蒸汽。高分子量的碳?xì)浠衔镌谫|(zhì)譜計(jì)離子源中會(huì)裂解成許多低分子量碎片，它們將以密集的群譜形式出現(xiàn)，zui強(qiáng)的群出現(xiàn)在低質(zhì)量數(shù)端，如12－16，28、40和55附近，質(zhì)量數(shù)越高，峰強(qiáng)越弱。一個(gè)還沒(méi)有烘烤足夠的真空系統(tǒng)的典型殘氣質(zhì)譜圖，它的殘氣主要為氫、水和各種碳?xì)浠衔锏乃槠?，單?jù)該圖還不能判斷有無(wú)漏孔存在。

　　如果真空系統(tǒng)的極限壓強(qiáng)大于10－3Pa量級(jí)，一般是管道法蘭密封安裝不準(zhǔn)確或管道有很大的漏孔。這種量級(jí)的漏孔，一般沒(méi)有必要用質(zhì)譜檢漏，可方便地用酒精、丙酮等化學(xué)溶劑進(jìn)行涂擦式檢漏。這種涂擦式檢漏，直觀、易控制。當(dāng)溶劑涂擦到漏孔部位時(shí)，溶劑分子通過(guò)漏孔進(jìn)入真空室內(nèi)，與電離真空計(jì)進(jìn)行反應(yīng)（燈絲熱分解和電子碰撞分解），表現(xiàn)為規(guī)管靈敏度增高，使規(guī)管壓強(qiáng)讀數(shù)值增加，從而確定漏點(diǎn)。我們用質(zhì)譜計(jì)監(jiān)測(cè)了這個(gè)過(guò)程，溶劑分子通過(guò)漏孔時(shí)，因是液體，流量比空氣小，致使真空計(jì)壓強(qiáng)指示值先變小，然后隨液體流量逐漸增加，造成壓強(qiáng)指示值重新增加到一個(gè)穩(wěn)定值。這個(gè)變化過(guò)程有1－2秒之長(zhǎng)，在質(zhì)譜圖上沒(méi)有發(fā)現(xiàn)溶劑分子有明顯的流動(dòng)延時(shí)過(guò)程，壓強(qiáng)讀數(shù)增加值變量大于減值，可相差5倍以上。漏孔大，差值大。

　　迅達(dá)真空泵廠通過(guò)實(shí)驗(yàn)表明，丙酮的靈敏度（壓強(qiáng)指示增加值變量）比酒精高3倍左右，變化過(guò)程典型明顯。酒精易造成漏孔的堵塞，漏孔小時(shí)變化過(guò)程不明顯，甚至只出現(xiàn)壓強(qiáng)指示值減小過(guò)程。與質(zhì)譜檢漏法反復(fù)對(duì)比，證明在真空系統(tǒng)壓強(qiáng)值約接近1×10－5Pa時(shí)，折合漏率在2×10－3PaL／S時(shí)，液體示漏法已失效。要重復(fù)測(cè)試時(shí)須吹熱風(fēng)以排除剩余溶劑。丙酮易揮發(fā)，重復(fù)測(cè)試方便。檢漏操作時(shí)，應(yīng)盡量減少溶劑分子進(jìn)入系統(tǒng)內(nèi)的流入量，造成額外的對(duì)真空系統(tǒng)的碳?xì)浠衔镂廴?。在壓?qiáng)高于10－4Pa量級(jí)時(shí)，我們?cè)瓌t不*用質(zhì)譜計(jì)直接驗(yàn)漏，一是液體檢漏法很直接可靠；二是初裝真空系統(tǒng)，一般是壓強(qiáng)高、碳?xì)浠衔镂廴局?，質(zhì)譜計(jì)在這樣的條件下工作時(shí)電極易污染，會(huì)顯著縮短質(zhì)譜管清洗周期；三是在這種不良?xì)夥障?，很難獲得良好的檢漏導(dǎo)向能力?！?/span>

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