1、 SPIN勻膠機(jī)POLOS450勻膠機(jī)工作原理： 勻膠機(jī)（spin coater）的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，勻膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。 2、SPIN勻膠機(jī)POLOS勻膠機(jī)型號(hào)及技術(shù)參數(shù)如下： 型號(hào) | SPIN150i | SPIN200i | POLOS300 | POLOS450 | POLOS600 | 基片范圍 | 直徑160mm or 4?方片 | 直徑260mm or 6?方片 | 直徑360mm or 8?方片 | 直徑460mm or 350mm方片 | 直徑600mm or 430mm方片 | 程序段數(shù) | 無限制 | 無限制 | 無限制 | 無限制 | 30個(gè)程序 | 操作步數(shù) | 無限制 | 無限制 | 無限制 | 無限制 | 90個(gè)步驟 | 旋轉(zhuǎn)速度 | 0-12,000 rpm ±1rpm steps | 0-12,000 rpm ±1rpm steps | 0-12,000 rpm ±1rpm steps | 0-1500rpm ±1rpm steps | 0-1,500 rpm ±1rpm steps | 旋轉(zhuǎn)精度 | ±0.1 rpm | ±0.1 rpm | ±0.1 rpm | ±0.1 rpm | ±0.1 rpm | 旋轉(zhuǎn)方向 | 順時(shí)針、逆時(shí)針、交換擺 | 順時(shí)針、逆時(shí)針、交換擺 | 順時(shí)針、逆時(shí)針、交換擺 | 順時(shí)針、逆時(shí)針、交換擺 | 順時(shí)針、逆時(shí)針 | 加速度 | 30,000 rpm/sec | 30,000 rpm/sec | 30,000 rpm/sec | ≤1500rpm時(shí)取決于負(fù)載 | 500 rpm/sec | 旋轉(zhuǎn)時(shí)間 | 無限制*,± 0.1 seconds steps | 無限制*,± 0.1 seconds steps | 無限制*,± 0.1 seconds steps | 無限制*,± 0.1 seconds steps | 1 to 999 sec/step | 腔體直徑 | 202 mm | 302 mm | 402 mm | 502 mm | 642mm | 外形尺寸 (w*h*d ) | 274 x 250 x 451 mm | 380 x 307 x 559mm | 430 x 310 x 650mm | 795 x 638 x 922mm | 800 x 1,450 x 1,650mm | 觸屏控制 | 全彩觸屏控制 | 全彩觸屏控制 | 全彩觸屏控制 | 全彩觸屏控制 | 全彩觸屏控制 | 設(shè)備重量 | 14Kg | 20Kg | 32Kg | 75Kg | | 電源參數(shù) | 220V,50/60 Hz | 220V,50/60 Hz | 220V,50/60 Hz | 220V,50/60 Hz | 220V,50/60 Hz |
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三、勻膠機(jī)的特點(diǎn)：
1、該勻膠機(jī)采用*：
2、勻膠機(jī)采用NPP天然聚丙烯材質(zhì)構(gòu)造設(shè)計(jì)，這種材質(zhì)有很好的抗腐蝕性和抗化學(xué)物性，美觀大方；
3、勻膠機(jī)真空Chuck經(jīng)精密加工制成，具有良好的光潔度及平整度，保證晶圓片被很好地吸附，主軸采用進(jìn)口微型單列向心球軸承支撐，軸向有彈性墊及調(diào)整墊，可保障主軸具有較高的精度。
4、在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減振措施，保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音很低，保證涂覆表面均勻，保證通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度。
5、勻膠機(jī)腔體配備吹氮(N2)功能，或壓縮空氣、氮?dú)鈮毫赏ㄟ^調(diào)壓閥和節(jié)流閥實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)，與配套真空泵一同使用。
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