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邁可諾技術(shù)有限公司
產(chǎn)品型號GM1010/GM1020/GM1075
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地上海市
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更新時間:2021-05-21 10:55:51瀏覽次數(shù):276次
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EM Resist SU-8負(fù)性抗蝕劑產(chǎn)品,非常適合半導(dǎo)體應(yīng)用。我們的產(chǎn)品有各種形式和厚度范圍。
EM Resist SU-8負(fù)性抗蝕劑產(chǎn)品,非常適合半導(dǎo)體應(yīng)用。我們的產(chǎn)品有各種形式和厚度范圍。
產(chǎn)品 膜厚范圍 涂層選項
GM1010 <0.2微米 噴涂外套
GM1020 0.2-0.5微米 旋轉(zhuǎn),噴涂,噴墨
GM1030 0.5-1.2微米 旋轉(zhuǎn),噴涂,噴墨
GM1040 0.9-3.2微米 旋轉(zhuǎn),噴涂,噴墨
GM1050 3-8微米 旋轉(zhuǎn),噴墨
GM1060 2-27微米 旋轉(zhuǎn),噴墨
GM1070 15-200微米 旋轉(zhuǎn),噴墨
GM1075 100-400微米 旋轉(zhuǎn),噴墨
小訂購量為250mL
SML Resist是一種高分辨率,高縱橫比的正色調(diào)電子束抗蝕劑。EM Resist SU-8負(fù)性抗蝕劑具有出色的附著力和出色的抗干蝕刻性。SML可用于MEMS,波帶片,光子學(xué)和許多其他納米加工應(yīng)用
SML電子束抗蝕劑的厚度范圍從50nm到2μm,起始體積僅為50mL。
高性能SML電子束抗蝕劑是一種新型聚合物,專為滿足EBL社區(qū)的需求而設(shè)計。即使在低加速電壓下,也無需借助鄰近效應(yīng)校正,就可以同時將其圖案化為高分辨率和高長寬比的圖案。
SML抗蝕劑經(jīng)過專門設(shè)計,可與標(biāo)準(zhǔn)PMMA工藝配合使用。無需更改化學(xué)或過程培訓(xùn)。
產(chǎn)品范圍–厚度
SML50:40nm – 100nm
SML100:90nm – 210nm
SML300:250nm – 600nm
技術(shù)指標(biāo)
高分辨率:<10nm
*的寬高比:
30 kV時> 10:1
> 50:1 @ 100 kV
厚度:50 nm – 2000 nm
PMMA抗蝕劑是用于電子束光刻的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)正性抗蝕劑。我們提供各種分子量和厚度的PMMA。
PMMA Resist是行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的電子束抗蝕劑,廣泛用于學(xué)術(shù)界和工業(yè),用于高分辨率功能和剝離應(yīng)用。它也可以用于納米壓印應(yīng)用以及其他晶圓廠和研發(fā)過程,例如石墨烯薄片轉(zhuǎn)移。
產(chǎn)品相關(guān)關(guān)鍵字: 負(fù)性光刻膠 抗蝕劑 PMMA電子束 SML電子束 |
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