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行業(yè)產(chǎn)品

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邁可諾技術有限公司


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SEM掃描電鏡等離子清洗機

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參   考   價: ￥ 100

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號Tergeo EM

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海市

聯(lián)系方式：趙先生查看聯(lián)系方式

更新時間：2022-07-22 14:15:30瀏覽次數(shù)：1650次

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經(jīng)營模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：59條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：趙先生 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介
尺寸 內(nèi)徑110毫米    

污染物對電子顯微鏡SEM/TEM和其它高真空系統(tǒng)產(chǎn)生的影響

潤滑劑、真空脂、泵油樣品中的高分子聚合物，或未經(jīng)處理的空氣都會把碳氫污染物引到真空系統(tǒng)中。低蒸汽壓下高分子重污染物會凝聚在樣品表面和腔室壁上，而使用普通氣體吹掃方法很難把碳氫污染物清除。

電子和高能光子（EUV, X-ray）能夠分解存在于真空系統(tǒng)中或樣品上的碳氫污染物。碳氫化合物的分解產(chǎn)物沉積在被觀測的樣品表面或電子光學部件

詳細介紹

1、控制系統(tǒng)

1）操作界面：7英寸電阻觸摸屏操作界面，支持多種工作方式。

2）程序控制：可編程，總共有20個程序，每個程序有3個清潔步驟

2、反應腔體

1）腔體材質(zhì)：圓柱形石英玻璃艙。

2）腔體尺寸：內(nèi)徑110毫米，外徑120毫米，深度280毫米，壁厚：5毫米。

3）前觀測窗：前方開口，5毫米厚石英玻璃可視窗口，可觀測內(nèi)腔等離子狀態(tài)，并帶有防真空泄漏和避免高壓的聯(lián)鎖裝置，有效保護操作的安全性；

3、射頻電源

1）射頻頻率：13.56MHz

2）射頻功率：標配0~75W；可選配0~150W。從0瓦到150瓦之間以1瓦間距連續(xù)可調(diào)，自動阻抗匹配。

3）射頻輸出可以工作在脈沖方式，脈沖比可以從1/255調(diào)到255/255（連續(xù)輸出）。

4、等離子源

1）等離子強度探測器實時測量等離子源強度。

2）電阻耦合電離方式。

3）外置電極設計，高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。

5、氣體控制

1）氣路控制：標配一路MFC；可選配三路MFC；

2）質(zhì)量流量計可以在0~100sccm之間控制氣體流量；

3）一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體。

4）自動放氣流程控制可以保護真空泵不受影響。

5）高性能氣壓計可以測量1e-4 Torr到大氣壓之間的氣壓。

6）6mm氣體接口。

6、真空系統(tǒng)

1）KF25法蘭接口用來連接真空泵。

2）真空要求：抽速：>1.7m3/h；

3）低氣壓：<=200mTorr. 

產(chǎn)品相關關鍵字： SEM掃描 SEM掃描電鏡 電鏡等離子清潔儀 遠程等離子清潔儀 電子顯微鏡SEM


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