硅材料單晶硅多晶硅產(chǎn)品清洗超純水設(shè)備

在單晶硅/多晶硅/硅材料/太陽能電池硅片、半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)嚴(yán)格清洗。微量污染也會(huì)導(dǎo)致器件失效。清洗的目的在于清---除表面污染雜質(zhì)，包括有機(jī)物和無機(jī)物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài)，有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。有機(jī)污染包括光刻膠、有機(jī)溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來的油脂或纖維。無機(jī)污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等，嚴(yán)重影響少數(shù)載流子壽命和表面電導(dǎo)；堿金屬如鈉等，引起嚴(yán)重漏電；顆粒污染包括硅渣、塵埃、細(xì)菌、微生物、有機(jī)膠體纖維等，會(huì)導(dǎo)致各種缺陷。所以單晶硅/多晶硅/硅材料/太陽能電池硅片、半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中用超純水，目前制取超純水工藝可分為反滲透+混床超純水設(shè)備，二是反滲透+，這是兩種制取超純水設(shè)備常用的工藝。超純水主要用于清洗硅片，另有少量用于藥液配制，硅片氧化的水汽源，部分設(shè)備的冷卻水，配制電鍍液等。水中的堿金屬（K、Na等）會(huì)使絕緣膜耐壓不良，重金屬（Au、Ag、Cu等）會(huì)使PN結(jié)耐壓降低，III族元素（B、Al、Ga等）會(huì)使N型半導(dǎo)體特性惡化，V族素（P、As、Sb等）會(huì)使P型半導(dǎo)體特性惡化，水中細(xì)菌高溫碳化后的磷（約占灰分的20%~50%）會(huì)使P型硅片上的局部區(qū)域變化為N型硅而導(dǎo)致器件性能變壞。水中的顆粒（包括細(xì)菌）如吸附在硅片表面，就會(huì)引起電路短路或特性變差。

超純水中雜質(zhì)的污染源      

1.水源的影響      

由于水是一種溶解能力很強(qiáng)的溶劑,因此天---然水中含有各種鹽類和化合物,溶有CO2, 還有膠體(包括硅膠和腐殖質(zhì)膠體),天---然水中還存在大量的非溶解性質(zhì),包括粘土、砂石、細(xì)菌、微生物、藻類、浮游生物、熱源等。      

2.材料的影響    

制備超純水的材料設(shè)備的材質(zhì)都是用金屬和塑料制成的,金屬在水中會(huì)有痕量溶解,造成金屬離子污染。一些高分子材料,在合成時(shí)常常加入各種添加劑、增塑劑、紫外吸光劑、著色劑，也引入大量的金屬、非金屬雜質(zhì)，同時(shí)還會(huì)帶來有機(jī)污染。      

硅是地球上儲(chǔ)藏豐富的材料之一，從19世紀(jì)科學(xué)家們發(fā)現(xiàn)了晶體硅的半導(dǎo)體特性后，它幾乎改變了，甚至人類的思維。直到上世紀(jì)60年代開始，硅材料就取代了原有鍺材料。硅材料――因其具有耐高溫和抗輻射性能較好，特別適宜制作大功率器件的特性而成為應(yīng)用多的一種半導(dǎo)體材料，目前的集成電路半導(dǎo)體器件大多數(shù)是用硅材料制造的?，F(xiàn)在，我們的生活中處處可見“硅”的身影和作用，晶體硅太陽能電池是近15年來形成產(chǎn)業(yè)化快的。

熔融的單質(zhì)硅在凝固時(shí)硅原子以金剛石晶格排列成許多晶核，如果這些晶核長成晶面取向相同的晶粒，則這些晶粒平行結(jié)合起來便結(jié)晶成單晶硅。單晶硅的制法通常是先制得多晶硅或無定形硅，然后用直拉法或懸浮區(qū)熔法從熔體中生長出棒狀單晶硅。單晶硅棒是生產(chǎn)單晶硅片的原材料，隨著國內(nèi)和市場對(duì)單晶硅片需求量的快速增加，單晶硅棒的市場需求也呈快速增長的趨勢。

單晶硅圓片按其直徑分為6英寸、8英寸、12英寸（300毫米）及18英寸（450毫米）等。直徑越大的圓片，所能刻制的集成電路越多，芯片的成本也就越低。但大尺寸晶片對(duì)材料和技術(shù)的要求也越高。單晶硅按晶體生長方法的不同，分為直拉法（CZ）、區(qū)熔法（FZ）和外延法。直拉法、區(qū)熔法生長單晶硅棒材，外延法生長單晶硅薄膜。直拉法生長的單晶硅主要用于半導(dǎo)體集成電路、二極管、外延片襯底、太陽能電池。目前晶體直徑可控制在Φ3~8英寸。區(qū)熔法單晶主要用于高壓大功率可控整流器件領(lǐng)域，廣泛用于大功率輸變電、電力機(jī)車、整流、變頻、機(jī)電一體化、節(jié)能燈、電視機(jī)等系列產(chǎn)品。目前晶體直徑可控制在Φ3~6英寸。外延片主要用于集成電路領(lǐng)域。

由于成本和性能的原因，直拉法（CZ）單晶硅材料應(yīng)用廣。在IC工業(yè)中所用的材料主要是CZ拋光片和外延片。存儲(chǔ)器電路通常使用CZ拋光片，因成本較低。邏輯電路一般使用價(jià)格較高的外延片，因其在IC制造中有的適用性并具有消除Latch－up的能力。
 

單晶硅也稱硅單晶，是電子信息材料中基礎(chǔ)性材料，屬半導(dǎo)體材料類。單晶硅已滲透到國民經(jīng)濟(jì)和國防科技中各個(gè)領(lǐng)域，當(dāng)今超過2000億美元的電子通信半導(dǎo)體市場中95%以上的半導(dǎo)體器件及99%以上的集成電路用硅。

多晶硅是由許多硅原子及許多小的晶粒組合而成的硅晶體。由于各個(gè)晶粒的排列方向彼此不同，其中有大量的缺陷。多晶硅一般呈深銀灰色，不透明，具有金屬光澤，性脆，常溫下不活潑。多晶硅是用金屬硅(工業(yè)硅)經(jīng)化學(xué)反應(yīng)、提純,再還原得到的高純度材料(也叫還原硅)。目前世界上多晶硅生產(chǎn)的方法主要有改良西門子法(SiHCl3)、新硅烷法(SiH4)、SiH2Cl2熱分解法、SiCl4法等多晶硅生產(chǎn)工藝。當(dāng)前多晶硅的市場狀況是：從上來看，早幾年多晶硅還處于供過于求的局面，2004年開始，由于太陽能產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，太陽能用多晶硅供不應(yīng)求，導(dǎo)致多晶硅供應(yīng)緊張。在國內(nèi)，我國多晶硅生產(chǎn)長期不能滿足國內(nèi)市場需要，嚴(yán)重依賴于進(jìn)口。

太陽能電池片,中文名稱:太陽能電池板 英文名稱:solar cell panel 定義:由若干個(gè)太陽能電池組件按方式組裝在一塊板上的組裝件.太陽能電池板 Solar panel,分類：晶體硅電池板：多晶硅太陽能電池、單晶硅太陽能電池。非晶硅電池板：薄膜太陽能電池、有機(jī)太陽能電池。太陽能電池板：太陽能電池板是太陽能發(fā)電系統(tǒng)中的核心部分，也是太陽能發(fā)電系統(tǒng)中價(jià)值高的部分。其作用是將太陽能轉(zhuǎn)化為電能，或送往蓄電池中存儲(chǔ)起來，或推動(dòng)負(fù)載工作。太陽能電池板的質(zhì)量和成本將直接決定整個(gè)系統(tǒng)的質(zhì)量和成本。

超純水設(shè)備是指采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理等方法，將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水處理設(shè)備，用于制取超純水的機(jī)器，超純水初是科技界為了研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來的水，這種水中除了水分子(H20)外，幾乎沒有什么雜質(zhì)，更沒有細(xì)菌、病毒、含氯二惡英等有機(jī)物，當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，超純水無硬度，口感較甜，又常稱為去離子水，可直接飲用，也可煮沸飲用。超純水,是一般工藝很難達(dá)到的程度，如水的電阻率大于18MΩ*cm，接近于18.3MΩ*cm則稱為超純水。行業(yè)水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)超純水水質(zhì)分為五個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。

超純水設(shè)備技術(shù)發(fā)展史：

di一代：預(yù)處理 -陽床-陰床-混床

di二代：預(yù)處理 -反滲透-混床

di三代：預(yù)處理 -反滲透-電去離子（EDI）

多晶硅片,半導(dǎo)體器件，太陽能光伏行業(yè)硅片清洗水質(zhì)要求非常高，電阻率達(dá)18兆以上，目前選工藝是全膜法制取超純水，全膜法超純水設(shè)備是指采用盤濾+UF+RO+EDI+SMB組成的工藝設(shè)備，即預(yù)處理采用盤濾過濾器+超濾工藝，除鹽采用二級(jí)反滲透＋EDI工藝使産水電阻率達(dá)到15MΩ.cm以上，終端供水采用變頻供水泵＋二級(jí)精精混床＋終端超濾膜使産水電阻率達(dá)到18.2MΩ.cm，經(jīng)處理后的產(chǎn)水水質(zhì)達(dá)到《電子級(jí)水GB/T11446.1-1997 Ⅰ級(jí)》水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。

全膜法超純水設(shè)備該超純水設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)EDI系電滲析(ED)和離子交換技術(shù)(DI)有機(jī)結(jié)合，達(dá)到連續(xù)除鹽、運(yùn)行維護(hù)簡單、無酸堿排放污染。在膜處理系統(tǒng)中，用做前處理的超濾一般使用直徑1mm的中空纖維，以脫除原水中的懸浮物及膠體，UF用作前處理的大問題是膜污染及膜孔堵塞，為此常在前面設(shè)置預(yù)過濾器，以去除大粒徑懸浮物，在預(yù)過濾前加絮凝劑，如PAC(聚丙稀酸)可提高過濾水質(zhì)，并降低膜阻力。對(duì)電廠鍋爐補(bǔ)給水系統(tǒng)要求的溶氧量一般要求為0.3 mg/L以下,為此脫氣膜應(yīng)該在低于5.33Kpa(40TORR)的真空度下操作?？刂葡到y(tǒng)采用工控機(jī)程控控制，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)起停，加藥及沖洗，自動(dòng)監(jiān)測各種運(yùn)行參數(shù)，以便生產(chǎn)管理。

全膜法超純水設(shè)備系統(tǒng)有如下優(yōu)點(diǎn)：

1、連續(xù)運(yùn)行禪水質(zhì)穩(wěn)定品質(zhì)更佳。

2、系統(tǒng)運(yùn)行可靠性穩(wěn)定。

3、運(yùn)行成本低。

4、占地面積小。

5、自動(dòng)化程度高。

6、操作及維護(hù)簡單，無需接觸酸堿。

7、使用安---全及環(huán)境良好。

8、無污水排放，無環(huán)境污染。

益民水處理生產(chǎn)的超純水設(shè)備處力：按客戶要求設(shè)計(jì)

出水指標(biāo)：≥16-18.2MΩ．CM

產(chǎn)水用途：電子、單晶硅/多晶硅用工業(yè)超純水、純水、單晶硅多晶硅清洗超純水、硅片硅材料清洗超純水

我們公司專業(yè)生產(chǎn)全膜法超純水設(shè)備，有多年的生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，尤其在電控系統(tǒng)PLC方面在水處理行業(yè)技術(shù)都是比較成熟，我們也有做過很多各行業(yè)的水處理設(shè)備，這方面我們有豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們公司做出來的設(shè)備質(zhì)量比他們都有優(yōu)勢，在國內(nèi)具有的市場jing爭力。該產(chǎn)品由于具備性能好、國外同類產(chǎn)品價(jià)格、供貨及時(shí)、售后服務(wù)方便快捷等諸多優(yōu)勢。在硅片，太陽能光伏，半導(dǎo)體，LED、LCD、光電光學(xué)企業(yè)的脫鹽水和超純水裝置，得到了業(yè)界的廣泛贊譽(yù)，歡迎廣大客戶前來參觀考察。益民爭創(chuàng)業(yè)內(nèi)水處理di一品牌-竭誠為新老客人提供產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)。

單晶硅/多晶硅/硅材料/太陽能光伏電池硅片清洗超純水設(shè)備工藝

全膜法超純水設(shè)備在設(shè)備設(shè)計(jì)上，采用成熟、可靠、、自動(dòng)化程度高的兩級(jí)RO＋EDI水處理工藝，預(yù)處理采用盤濾過濾器+超濾工藝，除鹽采用二級(jí)反滲透＋EDI工藝使産水電阻率達(dá)到15MΩ.cm以上，終端供水采用變頻供水泵＋二級(jí)精精混床＋終端超濾膜確保處理后的超純水水質(zhì)電阻率達(dá)到18.2MΩ.cm，利用率高，運(yùn)行可靠，經(jīng)濟(jì)合理。關(guān)鍵設(shè)備及材料均采用主流可靠產(chǎn)品，采用PLC＋觸摸屏控制，全套系統(tǒng)自動(dòng)化程度高，系統(tǒng)穩(wěn)定性高。

單晶硅/多晶硅/硅材料/太陽能電池硅片清洗超純水設(shè)備選益民水處理，我公司設(shè)計(jì)的超純水設(shè)備采用成熟、可靠、、自動(dòng)化程度高的二級(jí)反滲透+EDI+精混床除鹽水處理工藝，確保處理后的超純水水質(zhì)確保處理后出水電阻率達(dá)到18.2 MΩ.cm。

單晶硅/多晶硅/硅材料/太陽能電池硅片清洗超純水設(shè)備關(guān)鍵設(shè)備及材料均采用主流可靠產(chǎn)品，采用PLC＋觸摸屏控制，全套系統(tǒng)自動(dòng)化程度高，系統(tǒng)穩(wěn)定性高。大大節(jié)省人力成本和維護(hù)成本，水利用率高，運(yùn)行可靠，經(jīng)濟(jì)合理。使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。

我們公司專業(yè)生產(chǎn)二級(jí)反滲透+EDI+精混床除鹽超純水設(shè)備，有多年的生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，尤其在電控系統(tǒng)PLC方面在水處理行業(yè)技術(shù)都是比較成熟，我們也有做過很多各行業(yè)的水處理設(shè)備，這方面我們有豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們公司做出來的設(shè)備質(zhì)量具有更大的優(yōu)勢，在國內(nèi)具有的市場jing爭力。該產(chǎn)品由于具備性能好、國外同類產(chǎn)品價(jià)格、供貨及時(shí)、售后服務(wù)方便快捷等諸多優(yōu)勢。在太陽能光伏、LED、LCD、半導(dǎo)體、光電光學(xué)企業(yè)的脫鹽水和超純水裝置，得到了業(yè)界的廣泛贊譽(yù)，歡迎廣大客戶前來參觀考察我公司的廠房及超純水設(shè)備工程案例。

單晶硅/多晶硅/硅材料/太陽能光伏電池硅片清洗超純水設(shè)備部分案例：

東莞南波光伏科技有限公司 18MΩ·CM太陽能光伏工藝用水UF+二級(jí)RO+EDI+MB

亞洲硅業(yè)（青海）有限公司 18MΩ·CM多晶硅材料清洗用水UF+二級(jí)RO+EDI+MB

四川新光硅業(yè)科技有限責(zé)任公司 18MΩ·CM硅片清洗用水UF+二級(jí)RO+EDI+MB

青島昌盛日電太陽能科技有限公司 18MΩ·CM硅片清洗用水UF+二級(jí)RO+EDI+MB

宜昌南玻硅材料有限公司 18MΩ·CM硅材料清洗用水UF+二級(jí)RO+EDI+MB

江西晶科能源有限公司 18MΩ·CM太陽能工藝用水二級(jí)RO+EDI+MB

江西江特鋰電池材料有限公司  18MΩ·CM太陽能光伏電池生產(chǎn)用水二級(jí)RO+EDI+MB

江門市雁明貿(mào)易發(fā)展有限公司（羅馬尼亞） 18MΩ·CM太陽能光伏工藝用水UF+二級(jí)RO+EDI+MB

夏津奧德新能源有限公司 18MΩ·CM單晶硅片清洗用水UF+二級(jí)RO+EDI+MB

成都旭雙太陽能科技有限公司 18MΩ·CM太陽能光伏工藝用水UF+二級(jí)RO+EDI+MB

上海韓科電子科技有限公司 18MΩ·CM太陽能電池片清洗UF+二級(jí)RO+EDI+MB

我相信只有您實(shí)地考察，看了我們的廠房及工程設(shè)備，才會(huì)相信我們的實(shí)力，我們隨時(shí)歡迎您的到來。耐心解答您的咨詢，咨詢我們前，請(qǐng)您告訴我們幾個(gè)參數(shù)：

1.原水水源（自來水，地下水井水，河水，湖水...)，除了自來水，其它的水源，需要提供水質(zhì)報(bào)告，水源不一樣，處理工藝不一樣，費(fèi)用就有很大的差別;

2.配置（需要高---端配置還是一般配置，就是指水泵有國產(chǎn)的還是進(jìn)口的，反滲透膜用海德能的還是陶氏的...）

3.控制（用PLC全自動(dòng)控制,還是手動(dòng)控制)

4.出水水質(zhì)要達(dá)到什么標(biāo)準(zhǔn)，電阻率要達(dá)到多少，有什么用途，如果不知道，也沒關(guān)系，告訴我們您是做什么產(chǎn)品的，我們做給您設(shè)計(jì)出符合您生產(chǎn)要求的方案。

應(yīng)用場合：　

光伏電池及組件，晶體硅電池及組件、各類薄膜電池組件、聚光電池及系統(tǒng),光伏相關(guān)零部件，蓄電池、充電器、控制器、轉(zhuǎn)換器、記錄儀、逆變器、監(jiān)視器、支架系統(tǒng)、追蹤系統(tǒng)、太陽電纜等；

光伏應(yīng)用產(chǎn)品，光伏太陽能照明、太陽能家用電器、太陽能信號(hào)燈、太陽能顯示屏、太陽能草坪燈及其他太陽能光電應(yīng)用產(chǎn)品等光伏原材料，硅料、硅錠/硅塊、硅片、封裝玻璃、封裝薄膜、其他原料；

光伏工程及系統(tǒng)，太陽能建筑一體化應(yīng)用、太陽能外墻及屋頂組件、光伏系統(tǒng)集成、農(nóng)村光伏發(fā)電系統(tǒng)、太陽能檢測及控制系統(tǒng)、測量及控制系統(tǒng)、太陽能光伏工程程序控制和工程管理及軟件編制系統(tǒng)。

我們能夠提供的服務(wù)　　

1、原水水質(zhì)分析　　

2、水處理工藝技術(shù)方案與工程設(shè)計(jì)　　

3、水處理項(xiàng)目投資報(bào)告、可行性分析　　

4、水處理系統(tǒng)安裝調(diào)試、技術(shù)施工服務(wù)　　

5、反滲透設(shè)備維護(hù)、清洗、保養(yǎng)及售后服務(wù)　　

6、技術(shù)培訓(xùn)　　

7、工程施工管理及技術(shù)監(jiān)督，跟蹤服務(wù)　　

8、反滲透膜的清洗、多種零件的更改

單晶硅/多晶硅/硅材料/太陽能光伏電池硅片清洗超純水設(shè)備的售后服務(wù)　　

1、負(fù)責(zé)所供設(shè)備的指導(dǎo)安裝調(diào)試?！　?/span>

2、提供需方設(shè)備維護(hù)人員培訓(xùn)?！　?/span>

3、對(duì)所售設(shè)備提供一年保修（易損易耗件除外）、終生維修。　　

4、為用戶建立計(jì)算機(jī)管理檔案，定期回訪。　　

5、設(shè)立顧客滿意電話，隨時(shí)接受用戶咨詢?！　?/span>

6、分布在各地的售后服務(wù)人員將即時(shí)解決用戶使用中產(chǎn)生的問題。 　　

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