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真空泵真空區(qū)域的劃分
| 真空區(qū)域 | 壓強(qiáng)范圍 | |
| 托（Torr） | 帕（Pa） | |
| 低真空 | 760~10 | 101325~1333 |
| 中真空 | 10~10-3 | 1333~1.33×10-1 |
| 高真空 | 10-3~10-8 | 1.33×10-1~10-6 |
| 超高真空 | 10-8~10-12 | 10-6~10-10 |
| *真空 | ＜10-12 | ＜10-10 |
對(duì)于需要配前級(jí)泵的抽氣機(jī)組，主泵選完之后，重要的問(wèn)題是如何選配合適的前級(jí)泵和預(yù)抽泵。選配前級(jí)泵的原則是：
（1）前級(jí)泵在主泵出口處造成的壓力應(yīng)低于主泵的大排氣壓力
（2）前級(jí)泵應(yīng)保證始終及時(shí)排出主泵所排出的氣體流量。
（3）兼作預(yù)抽泵的前級(jí)泵要滿足預(yù)抽時(shí)間及預(yù)抽真空度的要求。
根據(jù)主泵的工作特性不向，配泵可分為兩種情況：一種是主泵需要配前級(jí)泵，如擴(kuò)散泵、分子泵等；另一種是主泵只需要配預(yù)抽真空泵，而不需要配前級(jí)泵，如各種吸附冷凝泵等。
主泵配前級(jí)泵計(jì)算時(shí)，需要前級(jí)泵在主泵出口處形成的壓力始終低于該泵的大排氣壓力，主真空泵才能正常工作。普通的油擴(kuò)散泵的大排氣壓一般為26~40Pa左右；油增壓泵的大排氣壓力一般為130~260yPa左右。
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