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德國(guó) Pfeiffer 真空泵，氦檢漏儀,分子泵，質(zhì)譜儀，真空規(guī)管，真空閥門及美國(guó)Brooks 旗下CTI Cropump 冷凝泵/低溫泵， Polycold 冷凍機(jī)和美國(guó)KRI 離子源，PLD鍍膜機(jī)
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