早期超純水設(shè)備的需求主要是來自發(fā)電、醫(yī)藥化工、造紙等行業(yè)，水質(zhì)要求相對較低，其制備只要采用離子交換，該方法的主要缺點是化學(xué)藥劑再生，既麻煩又不經(jīng)濟，而且由于強行樹脂對一般有機分子除去效果差，出水中TOC含量高，隨著半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展，對超純水質(zhì)量要求提高，從而大大的推動了純水技術(shù)的發(fā)展，到了上個世紀(jì)末，膜技術(shù)得到了廣泛的應(yīng)用，微濾，超濾，電滲析和反滲透技術(shù)*的水處理技術(shù)得到了飛速的發(fā)展，膜法制備純水取代了傳統(tǒng)的離子交換設(shè)備系統(tǒng)，解決了TOC問題，滿足了電子行業(yè)對純水質(zhì)量的要求取設(shè)備工藝。