為掃描儀系統(tǒng)和小型環(huán)境的清理提供的二層保護。 如果需要額外的保護或沒有空氣處理系統(tǒng)，則可以化學凈化環(huán)境空氣。E2000 預過濾器外殼和空氣循環(huán)系統(tǒng)是我們市場的 OEM 掃描儀集成過濾器系統(tǒng)的自然延伸。 E2000 系統(tǒng)增強了對空氣中低分子量硅 (LMWSi) 和可冷凝有機物的鏡片污染的保護。它滿足 Nikon、ASML 和 Canon photobay 環(huán)境規(guī)范并延長 OEM 掃描儀過濾器有機物的使用壽命。作為獨立系統(tǒng)使用，E2000 系統(tǒng)可以通過再循環(huán)空氣和去除導致腐蝕和工藝問題的空氣污染物來清潔設施。

選擇吸附化學物質以大限度地提高目標 AMC（空氣中的分子污染物）的容量

匹配現有的 OEM 掃描儀過濾系統(tǒng)

用于過濾小型設施的緊湊型獨立解決方案

適用于所有應用的輕松改造

符合 Nikon、ASML 和 Canon 環(huán)境規(guī)范