Entegris 是微電子行業(yè)空氣分子污染 (AMC) 控制領(lǐng)域的。 我們的 VaporSorb CSP-32 化學(xué)空氣過濾器為曝光工具光學(xué)元件和光刻膠提供保護(hù)。 CSP-32 過濾器包含碳和聚合化學(xué)介質(zhì)的組合，可針對并去除分子酸（如 HCl、H2SO4 和 HNO3）、酸形成物質(zhì)（如 SO2）、分子堿（如 NH3、NMP 和 胺）和可冷凝有機(jī)化合物，定義為沸點大于 150°C (302°F) 和/或分子量大于 120 的化合物。專門設(shè)計用于 Entegris 的定制過濾器外殼，例如 E1250、Ex2600 和 E3000、VaporSorb CSP-32 過濾器以串聯(lián)方式使用，以提供保護(hù)，防止意外和升高的污染事件，包括意外的溶劑和顯影劑化學(xué)品泄漏。

不對稱濾波器設(shè)計可防止 HDMSO 轉(zhuǎn)換為 TMS

去除酸、堿和可冷凝的有機(jī)物

折疊式過濾器設(shè)計采用剛性深框

低壓降使多個保護(hù)層的串聯(lián)過濾器布局成為可能

堆棧間采樣端口，便于監(jiān)控