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當前位置：上海連航機電科技有限公司>>環(huán)境、健康、安全>>空氣處理及噪聲管理>> ENTEGRIS過濾器外殼E2600
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更新時間：2023-03-03 09:01:13瀏覽次數(shù)：87次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線Entegris E2600 過濾器外殼用于化學凈化光刻曝光工具中使用的環(huán)境空氣。 E2600 過濾系統(tǒng)可保護曝光工具免受各種空氣分子污染物的影響。 E2600 過濾器外殼設計用于與 Entegris 化學空氣過濾器一起使用，以保護曝光工具中的化學放大抗蝕劑和暴露的光學表面。當配備 Entegris 混合介質(zhì)化學空氣過濾器時，E2600 過濾器外殼可提供的保護，防止空氣中的分子酸、堿和可冷凝有機化合物。在 E2600 內(nèi)部，專門的化學過濾器以多級串聯(lián)配置排列，以提供保護，防止嚴重的污染事件，例如溶劑和顯影劑化學品的意外溢出。
去除酸、堿和可冷凝的有機物
內(nèi)部 HEPA 過濾器確保顆粒控制
用于性能監(jiān)控的堆棧間示例端口
占地面積小，節(jié)省潔凈室空間
剛性結(jié)構確?？煽俊⑦\行
雙入口和出口過渡，用于簡單、硬或靈活的管道連接
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