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用于半導(dǎo)體的 Themis™ S S/TEM

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產(chǎn)品型號(hào)Thermo Scientific

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更新時(shí)間：2023-04-02 14:18:47瀏覽次數(shù)：342次

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Thermo Scientific Themis S S/TEM 是一款 80–200kV 掃描/透射電子顯微鏡 (S/TEM)，專(zhuān)為半導(dǎo)體設(shè)備的高速成像和分析而設(shè)計(jì)。Themis S TEM 作為業(yè)界標(biāo)準(zhǔn) Themis 系列新成員，將繼承較佳空間分辨率和較高效化學(xué)分析的組合。

詳細(xì)介紹

Themis S S/TEM 用于半導(dǎo)體的優(yōu)勢(shì)包括：

高分辨率和高通量分析的較佳組合。透鏡配置使其僅在 Themis 上可用。它可提供較佳的圖像分辨率和較高的能譜效率。
極值得信賴的測(cè)量精確度。由于存在 ≤2% 的測(cè)量不確定性，在關(guān)鍵尺寸測(cè)量應(yīng)用中可提供可信任、可重復(fù)性和一致性。
較強(qiáng)的多功能性。光學(xué)器件、化學(xué)檢測(cè)、寬間隙極靴和應(yīng)用軟件的結(jié)合可確保平臺(tái)覆蓋能夠涵蓋廣泛的應(yīng)用。

較快獲得結(jié)果

Themis S S/TEM 將壓電工作臺(tái)和漂移校正幀 (DCFI) 結(jié)合使用以補(bǔ)償可能的樣品漂移，從而能夠較快獲取數(shù)據(jù)。如此，僅在上樣后數(shù)分鐘內(nèi)即可在 TEM 和 STEM 模式中采集高質(zhì)量、高分辨率圖像。

提高生產(chǎn)率

為了優(yōu)化生產(chǎn)率，Themis S S/TEM 使用雙線圈恒定功率透鏡來(lái)盡量減少熱漂移并盡量提高系統(tǒng)通量。這種設(shè)計(jì)可以消除在不同模式之間切換時(shí)的鏡頭熱變化，例如從低倍鏡模式切換進(jìn)行特征搜索，以及從高倍鏡模式切換進(jìn)行成像。

關(guān)鍵詞：工作臺(tái)