來(lái)了解MKS真空計(jì)925系列性能參數(shù)
MKS 925系列真空計(jì)（MlcroPirani傳感器）
925系列MlcroPirani（微皮拉尼）傳感器是一個(gè)*的、基于MEMS的傳感器，它是一種熱導(dǎo)測(cè)量計(jì)。925 MlcroPirani常用于半導(dǎo)體設(shè)備及其它分析儀器中的真空壓力測(cè)量。MlcroPirani傳感器設(shè)計(jì)十分小型緊湊。其壓力測(cè)量范圍從常壓至10-5Torr，比標(biāo)準(zhǔn)Pirani壓力計(jì)低兩個(gè)數(shù)量級(jí)。925具有數(shù)字或模擬通訊接口，925有三個(gè)設(shè)置點(diǎn)。
925系列真空計(jì)主要參數(shù)：
測(cè)量范圍：1.0*10-5Torr至大氣壓
設(shè)定范圍：5.0*10-4 Torr至500Torr
精度：5*10-4 至10-3Torr ±10%讀數(shù),10-3至100Torr ±5%讀數(shù),100Torr至大氣壓 ±25%讀數(shù)
重復(fù)性：10-3至100 Torr ± 2%
電源要求：9 to 30 VDC,<1.5W
美國(guó)MKS 925系列真空計(jì)訂購(gòu)資料（訂貨號(hào)如925-11030）：
型號(hào) | 訂購(gòu)序號(hào) |
925 MlcroPirani | 925- |
接口類型 | |
KF16 | 1 |
KF25 | 2 |
1/8NPT | 3 |
VCR4 | 4 |
VCR8 | 5 |
CF1.33 | 6 |
KF16擴(kuò)展 | 8 |
通訊接口 | |
RS232/模擬 | 1 |
RS485/模擬 | 2 |
模擬輸出 | |
MKS標(biāo)準(zhǔn) | 0 |
MKS定制有*測(cè)范圍 | 8 |
連接頭和繼電器 | |
15針D-sub母頭/1個(gè)接觸點(diǎn)/925C兼容 | 1 |
15針D-sub母頭/無(wú)接觸點(diǎn) | 2 |
15針D-sub母頭/3個(gè)接觸點(diǎn) | 3 |
15針D-sub母頭/3個(gè)接觸點(diǎn)/雙模擬輸出 | 5 |
密封 | |
標(biāo)準(zhǔn)/Viton密封 | 0 |
標(biāo)準(zhǔn)/UHV密封 | 1 |
標(biāo)準(zhǔn)/Viton密封/帶顯示 | 4 |
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