相城區(qū)活性炭吸附設(shè)備精工打造常州天之尚環(huán)保設(shè)備有限公司 成立于2006年,公司總部位于常州,是一家致力于工業(yè)粉塵、廢氣處理系統(tǒng)設(shè)計、制造、安裝于一體的專業(yè)化公司。

反應(yīng)除去部 1，由容器 11、以及堵塞該容器 11 的開口部的蓋 12 來構(gòu)10成。容器 11，是由氧化鋁 （ alum ina）、 石英等耐蝕性材料構(gòu)成的有底圓 筒狀的部件，在其底部上形成有導(dǎo)出管 5 的開口部，另外設(shè)有多孔板 13,以防填充在內(nèi)部的廢氣處理劑 2 漏出。
    蓋 12 ，是由氧化鋁、石英等耐蝕性材料來構(gòu)成的板狀的部件，相對于 容器 11以自由裝卸的方式安裝，根據(jù)需要能夠更換填充在內(nèi)部的廢氣處15理劑 2。另外 ，在蓋 12 上形成有導(dǎo)入管 3 的開口部 。
    并且，在容器 11 內(nèi)，填充有上述的粒狀的處理劑 2，但此時以使處理 劑的填充率成為 30 70 體積%的方式被填充，使得不阻礙廢氣的順暢的 流動 。
    來自半導(dǎo)體制造裝置 21 的廢氣，經(jīng)過導(dǎo)入管 3，導(dǎo)入到反應(yīng)除去部 120內(nèi)，在此 ，由上述的化學(xué)反應(yīng)除去有害氣體成分 ，被凈化的廢氣由泵 22吸引而從導(dǎo)出管 4排出到系統(tǒng)外部 。
    另外，在來 自半導(dǎo)體制造裝置 21  的廢氣中，在含有 s或者 P町等 的除去反應(yīng)中需要氧的有害氣體成分的情況下，從供氧管 5 將適量的氧和 廢氣共同送入反應(yīng)除去部 l內(nèi)。
    25對于這樣的廢氣處理劑而言，由于多孔質(zhì)且實質(zhì)的表面積極其大  ，因 此與有害氣體成分之間的接觸面積增加，可以增大處理劑單位量對應(yīng)的廢 氣處理量  ，能夠以少量的處理劑量來處理大量廢氣。
    另外，處理后的廢氣處理劑，變成    CaF2C 氟化鈣、螢石）、 CaSi03（硅酸鈣> 或者 Ca2CP04 )3C磷酸鈣>， 這些鈣化合物，穩(wěn)定且無害 ，30不需要任何后續(xù)處理 ，進(jìn)而能夠在氟原料、玻璃原料、磷原料等中再利用。
    進(jìn)而，由于處理裝置的結(jié)構(gòu)簡單 ，不需要特別的設(shè)備，因此設(shè)備成本廉價。
    接著，說明使用氫氧化鈣的存在比為 20 重量%以上且不足 70 重量% 的處理劑的廢氣處理的*性。
    sCaO 以及 Ca  ( OH )  2 的密度 ，分別為 ，3.25g/cm3 以及 2.24g/cm3 。另外，Ca 劑發(fā)生反應(yīng)而生成的、例如 CaF2 的密度為 3.18  g/cm3 。在此，若 Ca  (OH )  2 不足 20 重量% ，則由于 Ca 劑 （CaO 與 Ca  ( OH )  2 的混合物） 的密度與生成的 CaF2  的密度大致相同，因此反應(yīng)效率降低。另外，在 以 Ca 化合物除去 F 成分的情況下，生成物與 Ca 化合物的摩爾體積也重要 。
    10即，在 Ca 化合物的摩爾體積大于 CaF2 的摩爾體積的情況下，由于由在表 面上發(fā)生的反應(yīng)在表面上產(chǎn)生拉伸應(yīng)力 ，而產(chǎn)生細(xì)微裂縫，新鮮的 Ca  化 合物出現(xiàn)在表面上，因此進(jìn)行與 F 的反應(yīng)，但是在摩爾體積偏小的情況下， 由于在表面上產(chǎn)生壓縮應(yīng)力，因此難以產(chǎn)生細(xì)微裂縫。例如 ，CaF2 的摩爾 體積為 24.6cm3/mol , CaO以及 Ca( OH)2 的摩爾體積，分別為 ，17.3 cm3/mol15以及 31.7cm3/mol 。在此，若 Ca( OH)2 的比例不足 20 重量% ，則由于 Ca 化合物的摩爾體積與 CaF2 的摩爾體積大致相同，因此反應(yīng)效率 降低。 另外，在生成物為 氯化物的情況下，由于因其潮解性 ，OH 基與 CaCI2相結(jié)合而導(dǎo)致 Ca (OH) 2 的比例減小，因此反應(yīng)效率下降。另一方面 ， 若超過 70重量 % ，則不僅氧化鈣劑粉化而導(dǎo)致反應(yīng)效率明顯下降，還產(chǎn)20生大量的水分。因此需要水分除去筒。另外 ，由于   Ca( OH)2 不足 20%的氧化鈣劑為在消防法中的 “危險品” ，因此，優(yōu)選為 20 重量%以上 。 利用XPSex 射線光電子光譜分析裝置 > ，分別對于氫氧化鈣的存在比為 20 重量% 以上、不足 20 重量% 、超過 70 重量% 、不足 70 重量 % 的 氧化鈣劑與 COF 2 氣體的反應(yīng)前后，進(jìn)行表面分析。圖 2A圖 7B 表示其25結(jié)果的一例。
    圖 2A 是含有不足 20 重量 %的 Ca( OH)2 的 CaO 劑的與 COF2 反應(yīng) 前的 Ca2p光譜，圖 2B 是反應(yīng)后的 Ca2p 光譜。另外，在圖 2A7B 中， 各圖表的縱軸表示蝕刻（etching ） 時間，這對應(yīng)于 CaO 劑的深度 。反應(yīng)前 的 Ca2p 通過與氧 （0） 成分結(jié)合而大約在 350.4eV 上具有峰值 （peak ）。
    30可知，在反應(yīng)后的  Ca2p中表面的峰值位置轉(zhuǎn)移到高能量側(cè) （ 352.4與，、200580003360. 6說明書第8/  12頁358eV ）， 在該部分，Ca 與 F 相結(jié)合。

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