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上海添時科學(xué)儀器有限公司
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| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號OTF-1200X-PESDSF-50
品 牌
廠商性質(zhì)0
所 在 地
聯(lián)系方式：徐鰲查看聯(lián)系方式
更新時間：2022-07-22 14:15:13瀏覽次數(shù)：140次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線OTF-1200X-PESDFG-50是一款雙爐體滑動的PECVD系統(tǒng)，連接循環(huán)手套箱。此款設(shè)備中石英爐管與循環(huán)手套箱連接，可利用CVD方法，將樣品處理后直接移入到氣氛保護環(huán)境下的手套箱中。爐體采用滑動式，可在實驗室中對樣品進行快速加熱和快速冷卻。此款儀器特別適合新一代納米材料和二維晶體材料的探索研究。
產(chǎn)品特點：
•真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統(tǒng)的石英管連接；
•兩個爐體在一個滑軌上，可通過爐體的滑動達到對樣品快速加熱和快速冷卻的效果!
加熱爐參數(shù)：
•連續(xù)工作溫度：1100℃
•兩個爐體都可設(shè)置30段升降溫程序
•高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命）
•電源：AC220，50Hz 功率：3KW
手套箱參數(shù):
•帶有除水系統(tǒng)：保持水含量< 2 ppm
•真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統(tǒng)的石英管連接
射頻電源：
真空系統(tǒng)：
•·采用TRP-12的雙旋真空泵；
• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；
•真空度可達10-2Torr。
供氣系統(tǒng)（可選）：
•客戶可選購四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)實現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）;
•流量范圍：
•電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；
•氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;
•不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出；
• PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設(shè)置。
產(chǎn)品尺寸：
爐體尺寸：1600mm(L) -430mm(W)-500mm(H)
手套箱尺寸：780mm(L)-700mm(W)-650mm(H)
質(zhì)保：
一年保質(zhì)期，終身維護，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件
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