產(chǎn)品特點：
•智能控制模塊，參數(shù)顯示更直觀更易操作；
•射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度;
•齒輪驅(qū)動管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復(fù)合粉末熱處理的均勻性;
•4通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進行精確的調(diào)控；
•爐體開啟式設(shè)計，以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管。
加熱爐參數(shù)：
•雙溫區(qū)爐膛
•溫度：1200℃（≤2h）
•額定工作溫度：1100℃
•推薦升溫速率:≤10℃/min
(40℃/min 800℃注：急速升溫影響設(shè)備使用壽命）
•加熱區(qū)長度：L總：440mm；
溫區(qū)一：200mm
溫區(qū)二：200mm
•加熱爐額定功率：3KW/220V （配置空開30A）
•滑動方式：手動
•電壓：單相AC 208 - 240V， 50HZ
•石英管堵
•爐管規(guī)格：Φ外： 100mm φ內(nèi)： 94mm L長： 1800 mm
•材料：高純石英
溫控系統(tǒng)：
•模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)功能
•智能化30段可編程控制
•具有超溫及斷偶報警功能
•控溫精度:±1℃
•帶RS485通訊接口 PC接入，,并附帶控制軟件，加熱爐數(shù)據(jù)可每分鐘記錄保存一次。
•帶過電流過電壓保護,漏電保護
•電氣完祥岌電纜，冷壓端子藥符合UL認證標準
軟件控制：
•傳統(tǒng)PECVD與開發(fā)的智能通訊模塊組合，可對傳統(tǒng)PECVD實現(xiàn)自動化升級
•可自由搭配各種系統(tǒng)控制組合自定義CVD系統(tǒng)，例如溫控系統(tǒng)可選擇溫區(qū)或各品牌儀表控制；氣路系統(tǒng)可選擇設(shè)備型號，計算氣體總摩爾質(zhì)量，可以搭配射頻電源系統(tǒng)，真空系統(tǒng)等我公司生產(chǎn)的其他CVD系統(tǒng)模塊，通過智能控制盒和上位機自定義CVD生態(tài)控制系統(tǒng)實現(xiàn)隨意自定義組合CVD系統(tǒng)控制生態(tài)平臺，控制可搭配觸摸式一體機或者WIFI連接筆記本和臺式設(shè)備，搭配智能控制盒擴展接口可利于客戶后期采購任意CVD模塊升級現(xiàn)有CVD設(shè)備，例如后期增加壓力可控模塊可在購買該系統(tǒng)模塊后連接通訊線至智能控制盒，在軟件界面選擇該系統(tǒng)模塊即可在現(xiàn)有的cvD模塊控制界面添加壓力可控功能。
•使其具備了自動化運行，數(shù)據(jù)存儲，以及遠程操作性能
•該模塊可對所有我公司CVD模塊進行連接，并搭配家用路由器可實現(xiàn)無線遠程的操控和存儲。
射頻電源：
•500W射頻電源
• 0--500W可調(diào)（穩(wěn)定性±1%）
•射頻頻率：13.56MHZ
•自動匹配 風(fēng)冷
•噪音<50dB
•輸入電壓：AC108-250V
供氣系統(tǒng)：
•四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%)
•流量范圍：一路0-100 sccm
二路0-200 sccm
三路0-200 sccm
四路0-500 sccm
•連接接口：6.35mm雙卡套連接
•金屬管路：材質(zhì)：SUS316
φ外：6.35mm φ內(nèi)：4mm
•軟管路：材質(zhì)：特氟龍
φ外：6.35mm Φ內(nèi)：4mm
注：接入供氣系統(tǒng)的氣源需搭配減壓閥，將氣壓降至2mpa以下
真空系統(tǒng)：
•采用TRP-12的雙旋真空泵（抽速3L/s）
•KF25卡箍及波紋管用于連接法蘭與真空泵
•配置KF-25真空手動擋板閥
•真空度可達10-2Torr
產(chǎn)品重量和尺寸：
•爐體尺寸：2200mm L*8500mmW*1400mm H;
質(zhì)保：
一年保質(zhì)期，終身維護，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件
