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可自動掃描等離子表面處理儀--GSL1100XPJF-A

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  等離子清洗機(jī)系列

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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

GSL-1100X-PJF-A是等離子槍和可控制的樣品臺結(jié)合在一起的產(chǎn)品，有自動控制的樣品臺，就可使等離子槍按設(shè)定程序?qū)悠繁砻孢M(jìn)行更均勻涂覆和處理，保證處理樣品表面的*性和均勻性。此系統(tǒng)是由RF發(fā)生器、氣體傳輸管、等離子槍頭和X-Y移動的工作臺（帶有真空吸盤和控制盒）。此系統(tǒng)產(chǎn)生等離子束可在非真空和低溫狀態(tài)下活化和清洗樣品表面，可處理的樣品有單晶片，光學(xué)元件和塑料等，也可在常壓下進(jìn)行等離子

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)

輸入電源	208 V- 240VAC, 50/60 Hz, < 1000W
RF發(fā)生器	輸出頻率：20-23kHz , 25KV 等離子槍頭：儀器中包括兩種等離子槍頭：圓形頭：10-12mm，矩形頭：15-18mm
輸入氣體氣壓，工作氣體	40 PSI min.(0.055 Mpa) Air, N2, Ar, He 或混合氣體(不可通入易燃易爆氣體 )
等離子體工作壓力	7- 10 PSI
工作環(huán)境	溫度 < 42°C，濕度 ≤ 40℃RH
樣品臺和控制柜	配有可在X-Y軸移動的樣品臺，通過步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動，采用SBC控制盒控制可手動調(diào)節(jié)樣品臺在Z軸方向上的移動距離控制盒采用LCD顯示，可設(shè)置其等離子槍頭的掃描程序。大掃描范圍：8" x 9" 一個直徑為4"的真空吸盤安裝在X-Y樣品臺上，可吸住直徑為6"的樣品。配有一真空泵，可與真空吸盤相連接整個系統(tǒng)安裝在一移動架上（600x600x 800Lmm）可選：可選加熱樣品臺（高溫度可加熱到500℃),也可將設(shè)備放置在手套箱中操作。
尺寸&重量	處理樣品臺尺寸：560mm L x483mm W x 609mm H 等離子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H 控制盒尺寸：330mm L x 305mm W x 152mm H 重量：55kg

質(zhì)保&質(zhì)量認(rèn)證	一年質(zhì)保期，終生維護(hù) CE認(rèn)證