Agilent TwisTorr 704 FS 高真空渦輪分子泵采用 TwisTorr 拖動技術和安捷倫懸浮軸承，具有高性能、高可靠性及經濟性。TwisTorr 拖動技術對小分子氣體（如氫氣和氦氣）能提供高壓縮比，從而實現(xiàn)大抽氣量和高前級耐壓，進而能使用更經濟實惠、更小型的前級泵。該技術使得轉子能采用緊湊的設計，變得高效節(jié)能，并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統(tǒng)降低了噪音和振動，并能保證*的軸承工作條件，從而能延長工作壽命，zui大程度減少系統(tǒng)停機時間，并能確保長時間穩(wěn)定的抽氣性能。TwisTorr 704 FS 泵*的軸承和干式潤滑劑設計，使得泵無需泵油和維護，能夠以任意方向安裝。可選擇一體式控制器或機架控制器。
Agilent TwisTorr 704 FS渦輪分子泵特性：
創(chuàng)新的 TwisTorr 技術 — 對小分子氣體的高壓縮比實現(xiàn)了高性能和zui小的系統(tǒng)占用空間。
高前級耐壓 — 允許使用更小的前級泵，從而降低了系統(tǒng)成本和尺寸。
安捷倫懸浮軸承系統(tǒng) — 低振動、低噪音和*軸承工作條件可延長泵的使用壽命，從而實現(xiàn)使用維護成本優(yōu)化，zui大程度減少系統(tǒng)停機時間，并保證長時間穩(wěn)定的抽氣性能。
*的軸承和干式潤滑劑 — 免維護、免油，實現(xiàn)任意角度安裝。
“三維”泵控制軟件使靈活性、速度和簡便性達到zui大化，可在泵的操作條件下達到*通量和壓縮性能。
典型渦輪泵應用
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵，其設計旨在實際應用中達到*性能。泵的緊湊型設計滿足工業(yè)中的嚴苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護，并可避免錯誤使用。無論您是終端用戶還是原始設備制造商，安捷倫均可針對您的應用為您提供幫助和支持，或定制適合您的需求的系統(tǒng)。
Agilent TwisTorr 704 FS渦輪分子泵典型渦輪泵應用：
| 領域 | 詳細說明 | 應用 |
| 質譜和分析儀器 | - 針對質譜系統(tǒng)優(yōu)化的全系列泵和控制器
- 具有多入口泵組的定制泵
- 低成本、易于使用、高分析性能
- 對于 GC/MS，提供用于相對低氣體載荷環(huán)境的 1 個真空室和用于分析無機樣品的中等真空接口
- 對于 LC/MS，需要提供多室、高通量真空系統(tǒng)
- 對于 ICP-MS，提供多種真空系統(tǒng)，包括用于氬氣等重載氣的泵和使用氦氣的碰撞池
- 對于 TOF 系統(tǒng)，需要較小尺寸、高通量和高效的散熱設備
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| 科研中的真空應用 | - 非常清潔、可靠和高性價比的 HV 和 UHV
- 粗真空軸承未暴露于 UHV，降低了污染
- 高速和高壓縮
- 可以以任意角度安裝
- 聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
| - 高能物理
- 融合技術
- 一般 UHV 研究
- 同步光源粒子加速器
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| 工業(yè)真空加工 | - 為薄膜沉積應用而專門設計的集成分子泵解決方案
- 適用于原始設備制造商和終端用戶的專業(yè)性能
- 適用于具有預真空鎖或大型內聯(lián)連續(xù)系統(tǒng)的單室批量系統(tǒng)和多室系統(tǒng)的泵
| 薄膜沉積： - 玻璃涂層設備（建筑和汽車玻璃，平板顯示器）
- 薄膜太陽能電池生產（光電）
- 光學數據介質（CD、DVD、磁光光盤）
- 磁性存儲介質
- 表面處理
- 光學涂層（眼科、精密光電）
- 膜或箔上的輥式/卷繞涂覆
設備加工： - 生產電視機和顯示器顯像管
- 疏散燈（高速公路照明、投影機）
- X 射線管和電子設備
一般工藝： |
| 納米技術儀器 | - 分析從有機化合物到半導體晶片等各類物質
- 全系列的高真空和超高真空泵特別適用于要求嚴苛的 SEM、TEM 和表面分析系統(tǒng)
- 低振動渦旋泵適用于zui敏感的顯微分析
- 可快速、無油式排空大型樣品室內的氣體
- 集成的泵控制器可靈活進行控制，幾乎不生成電磁噪音
- 非常適合為半導體生產創(chuàng)造合適環(huán)境
- 高轉速確保能夠以高泵速抽空半導體生產中釋放的輕質氣體（He、H）
- 符合高速循環(huán)應用的嚴格要求，例如真空裝載鎖
- 通過對多個渦旋泵聯(lián)用一個前級泵，可提高工具的可靠性
- 聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
- 安裝于支架上的控制器或一體式控制器允許將電子設備放置于遠處
| - 電子顯微鏡（SEM、TEM）
- 聚焦離子束系統(tǒng) (FIB)
- 表面分析
- 半導體制造
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性能指標：
| 抽速： | ISO 160/CF 8 英寸 | |
N2
He
H2
Ar | 660 L/s
640 L/s
480 L/s
625 L/s | |
| 全轉速氣體流量（使用推薦的推薦前級泵）* | 環(huán)境溫度 (25 °C) | 水溫：
(25 °C，50 L/h) |
| He | 7.9 mbar L/s
467 SCCM | 10.4 mbar L/s
615 SCCM |
| N2 | 4.3 mbar L/s
255 SCCM | 6.2 mbar L/s
367 SCCM |
| Ar | 1.5 mbar L/s
89 SCCM | 3.3 mbar L/s
195 SCCM |
| (*) 前級泵 11.6 m3/h | | |
| 壓縮比與前級耐壓關系* | | |
N2
He
H2
Ar | > 1E + 11
2E + 08
3E + 06
1E + 11 | 10 mbar
10 mbar
4 mbar
8.5 mbar |
| (*) 前級耐壓定義為，在水冷模式下，當渦輪泵仍能產生 100 的壓縮比時的壓力 | | |
| 采用推薦前級泵時的極限真空 | < 1 × 10-10 mbar
(< 1 × 10-10 Torr) | |
| 抽氣口法蘭 | ISO 160K，ISO 160F，CFF 8 英寸 | |
| 前級管道法蘭 | NW25（NW40 為可選附件） | |
| 推薦的前級泵 | DS302
IDP10
IDP15 | |
| 工作位置 | 任意 | |
| 操作環(huán)境溫度 | +5 °C 至 +35 °C | |
| 潤滑 | yognjiu性脂潤滑 | |
| 冷卻要求 | | |
| 風冷 | 空氣溫度由 +5 °C 至 35 °C | |
| 水冷 | 水溫由 +15 °C 至 +25 °C
水流速zui低 100 L/h | |
噪音壓力級別
（全速運行時距離 1 m 處）（磅）： | 43 dB(A) | |
