高真空渦輪分子泵采用TwisTorr拖動(dòng)級(jí)技術(shù)和安捷倫懸浮軸承，具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性。TwisTorr拖動(dòng)級(jí)技術(shù)能提高小分子氣體（如氫氣和氦氣）壓縮比，從而實(shí)現(xiàn)大抽氣量和城耐受高前級(jí)壓力，進(jìn)而能使用更經(jīng)濟(jì)實(shí)惠、更小型的前級(jí)泵。該技術(shù)使得轉(zhuǎn)子能采用緊湊的設(shè)計(jì)，變得高效節(jié)能，并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統(tǒng)降低了噪音和振動(dòng)，并能保證*的軸承工作條件，從而能延長(zhǎng)工作壽命，zui大程度減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間，并能確保長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性。TwisTorr84FS泵*的軸承和干式潤(rùn)滑劑設(shè)計(jì)，使得泵無需泵油和維護(hù)，能夠以任意方向安裝。可選擇一體式控制器或機(jī)架控制器。
美國Agilent TwisTorr 84 FS渦輪分子泵特性：
1.創(chuàng)新的 TwisTorr 技術(shù) — 能提高小分子氣體壓縮比，而非常小巧的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)則實(shí)現(xiàn)了高性能和zui小的系統(tǒng)體積。
2.耐受高前級(jí)壓力 — 允許使用更小的前級(jí)泵，從而降低了系統(tǒng)成本和尺寸。
3.安捷倫懸浮軸承系統(tǒng) — 低振動(dòng)，低噪音，*的軸承工作條件，延長(zhǎng)泵的使用壽命，實(shí)現(xiàn)使用維護(hù)成本優(yōu)化，zui大程度減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間，并保證長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定的抽氣性能。
4.*的軸承和干式潤(rùn)滑劑 — 免維護(hù)、免油，實(shí)現(xiàn)任意角度安裝。
5.銅制水冷通道（可選） — 可避免腐蝕，優(yōu)化熱傳遞性能，降低用水量和使用維護(hù)成本。
典型渦輪泵應(yīng)用：
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵，其設(shè)計(jì)旨在實(shí)際應(yīng)用中達(dá)到*性能。泵的緊湊型設(shè)計(jì)滿足工業(yè)中的嚴(yán)苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護(hù)，并可避免錯(cuò)誤使用。無論您是終端用戶還是原始設(shè)備制造商，安捷倫均可針對(duì)您的應(yīng)用為您提供幫助和支持，或定制適合您的需求的系統(tǒng)。
美國Agilent TwisTorr 84 FS渦輪分子泵典型渦輪泵應(yīng)用：
| 領(lǐng)域 | 詳細(xì)說明 | 應(yīng)用 |
| 質(zhì)譜和分析儀器 | - 針對(duì)質(zhì)譜系統(tǒng)優(yōu)化的全系列泵和控制器
- 具有多入口泵組的定制泵
- 低成本、易于使用、高分析性能
- 對(duì)于 GC/MS，提供用于相對(duì)低氣體載荷環(huán)境的 1 個(gè)真空室和用于分析無機(jī)樣品的中等真空接口
- 對(duì)于 LC/MS，需要提供多室、高通量真空系統(tǒng)
- 對(duì)于 ICP-MS，提供多種真空系統(tǒng)，包括用于氬氣等重載氣的泵和使用氦氣的碰撞池
- 對(duì)于 TOF 系統(tǒng)，需要較小尺寸、高通量和高效的散熱設(shè)備
| - 質(zhì)譜
- GC/MS
- LC/MS
- ICP-MS
- TOF
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| 科研中的真空應(yīng)用 | - 非常清潔、可靠和高性價(jià)比的 HV 和 UHV
- 粗真空軸承未暴露于 UHV，降低了污染
- 高速和高壓縮
- 可以以任意角度安裝
- 聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
| - 高能物理
- 融合技術(shù)
- 一般 UHV 研究
- 同步光源粒子加速器
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| 工業(yè)真空加工 | - 為薄膜沉積應(yīng)用而專門設(shè)計(jì)的集成分子泵解決方案
- 適用于原始設(shè)備制造商和終端用戶的專業(yè)性能
- 適用于具有預(yù)真空鎖或大型內(nèi)聯(lián)連續(xù)系統(tǒng)的單室批量系統(tǒng)和多室系統(tǒng)的泵
| 薄膜沉積： - 玻璃涂層設(shè)備（建筑和汽車玻璃，平板顯示器）
- 薄膜太陽能電池生產(chǎn)（光電）
- 光學(xué)數(shù)據(jù)介質(zhì)（CD、DVD、磁光光盤）
- 磁性存儲(chǔ)介質(zhì)
- 表面處理
- 光學(xué)涂層（眼科、精密光電）
- 膜或箔上的輥式/卷繞涂覆
設(shè)備加工： - 生產(chǎn)電視機(jī)和顯示器顯像管
- 疏散燈（高速公路照明、投影機(jī)）
- X 射線管和電子設(shè)備
一般工藝： |
| 納米技術(shù)儀器 | - 分析從有機(jī)化合物到半導(dǎo)體晶片等各類物質(zhì)
- 全系列的高真空和超高真空泵特別適用于要求嚴(yán)苛的 SEM、TEM 和表面分析系統(tǒng)
- 低振動(dòng)渦旋泵適用于zui敏感的顯微分析
- 可快速、無油式排空大型樣品室內(nèi)的氣體
- 集成的泵控制器可靈活進(jìn)行控制，幾乎不生成電磁噪音
- 非常適合為半導(dǎo)體生產(chǎn)創(chuàng)造合適環(huán)境
- 高轉(zhuǎn)速確保能夠以高泵速抽空半導(dǎo)體生產(chǎn)中釋放的輕質(zhì)氣體（He、H）
- 符合高速循環(huán)應(yīng)用的嚴(yán)格要求，例如真空裝載鎖
- 通過對(duì)多個(gè)渦旋泵聯(lián)用一個(gè)前級(jí)泵，可提高工具的可靠性
- 聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
- 安裝于支架上的控制器或一體式控制器允許將電子設(shè)備放置于遠(yuǎn)處
| - 電子顯微鏡（SEM、TEM）
- 聚焦離子束系統(tǒng) (FIB)
- 表面分析
- 半導(dǎo)體制造
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性能指標(biāo)
技術(shù)規(guī)格
抽速：
CFF 4.5 英寸或 ISO 63 配置：CFF 2.75 英寸 配置：KF 40 配置： |
N2：67 L/s
N2：56 L/s N2：49 L/s |
He：63 L/s/ He：46 L/s He：38 L/s/ |
H2：53 L/s
H2：40 L/s H2：36 L/s |
Ar：66 L/s
Ar：57 L/s Ar：44 L/s |
全轉(zhuǎn)速氣體流量（使用推薦的前級(jí)泵）
風(fēng)冷 (35 °C)
水冷 (25 °C, 65 L/h) | N2：100 sccm
N2：100 sccm | Ar：70 sccm
Ar：70 sccm | | |
| 壓縮比： | N2：≥ 1 × 1011 | He：2 × 106 | H2：5 × 104 | Ar：> 1 × 1011 |
| 極限真空*（使用推薦的前級(jí)泵） | < 5 x 10-10 mbar (< 3.75 x 10-10 Torr) | | | |
| 入口法蘭 | CF 4.5 英寸（外徑）
CF 2.75 英寸（外徑） | ISO 63
KF40 | | |
| 前級(jí)管道法蘭 | KF 16 NW | | | |
| 轉(zhuǎn)速 | 81000 rpm（驅(qū)動(dòng)頻率 1350 Hz） | | | |
| 啟動(dòng)時(shí)間 | < 2 分鐘 | | | |
| 推薦的前級(jí)泵 | 機(jī)械：DS 40M-DS 102
干式泵：Agilent IDP-3，SH 110 | | | |
| 工作位置 | 任意位置 | | | |
| 操作環(huán)境溫度 | +5 °C 至 +35 °C | | | |
| 空氣相對(duì)濕度 | 0 至 90%（非凝縮） | | | |
| 烘烤溫度 | 入口法蘭zui高溫度 120 °C（CFF 法蘭） 入口法蘭zui高溫度 80 ℃（ISO 法蘭） | | | |
| 潤(rùn)滑油 | yongjiu性潤(rùn)滑 | | | |
| 冷卻要求 | 風(fēng)冷：
水冷： | 氣流溫度 +5 °C 至 +35 °C
冷卻水溫度：+15 °C 至 +25 °C
zui低流速：65 L/h (0.30 GPM)
壓力：2 至 4 bar（45 至 75 psi） | | |
| 噪音壓力級(jí)別（全速運(yùn)行時(shí)距離 1 m 處） | 40 dB(A) * | | | |
| 儲(chǔ)存溫度 | -40 °C 至 +70 °C | | | |
| zui高海拔 | 3000 m | | | |
| 認(rèn)證 | CE、C-CSA-US、RoHS 符合 2011/65/UE 要求 | | | |
| 重量 kg（磅）： | 泵 ISO 63：
2.5 (5.5) | 泵 CFF 4.5 英寸：
3.5 (7.7) | 泵 CFF 2.75 英寸：
3.34 (7.35) | 泵 KF 40：
2.37 (5.22) |
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