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FS5001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器

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更新時(shí)間：2021-11-15 21:44:48瀏覽次數(shù)：233次

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廣州銘鴻自動(dòng)化儀表有限公司

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FS5001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測(cè)量和過程控制而設(shè)計(jì)的

詳細(xì)介紹

FS5001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測(cè)量和過程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。*的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測(cè)量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號(hào)輸出，通過通訊接口可實(shí)現(xiàn)對(duì)傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

傳感器靈敏度高，有極小的始動(dòng)流量

傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高精度計(jì)量

在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高

貼壁式安裝，無直管段要求，易于安裝與使用

輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)(RS232)或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù)(RS232 / I2C)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓

零點(diǎn)穩(wěn)定度高

全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性

低功耗、低壓損

響應(yīng)速度快

FS5001流量傳感器參數(shù)：

FS5001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器技術(shù)參數(shù)：

FS5001
量程范圍	0～20,50,200,500,1000,或根據(jù)客戶需求定制	sccm
量程比	>100：1
精度	±（1.5±0.2FS）	%
重復(fù)性	±0.75	%
零點(diǎn)輸出飄逸	±30	mV
輸出飄逸	0.16	%/oc
響應(yīng)時(shí)間	100（默認(rèn)，50，100，200，500，100設(shè)置）	ms
工作電源	8~18Vdc,50mA
輸出方式	RS232,I2C,模擬電壓0.5~4.5Vdc
大流量壓損	900	Pa
大流量壓力	0.8	MPa
工作溫度	-5~+45	oC
存儲(chǔ)溫度	-20~+55	oC
工作濕度	<95%RH(無結(jié)冰、無凝露)
機(jī)械接口	M,Rc,NPT,4mm,6mm快速接頭（配轉(zhuǎn)接模塊）
校準(zhǔn)方式	空氣（或其他氣體），20oC,101.325kPa
重量	17.5	g