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赫爾納貿(mào)易（大連）有限公司
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Matesy傳感器--宣傳樣本
2021-10-25 閱讀(518)
關(guān)鍵詞：Matesy傳感器
技術(shù)文章：
Matesy傳感器圖層屬性
濺射氣體的分壓或磁場可影響氣體成分的變化，氣體成分的變化不影響層的厚度，而且影響層的成分。因此，對于層厚度的校正，對磁場的控制和調(diào)節(jié)提出了質(zhì)疑！
Matesy傳感器m-cat系統(tǒng)通過表征管狀磁控管，有助于控制濺射系統(tǒng)中的磁性成分。除了對磁場配置進(jìn)行的測量和分析之外，m-cat系統(tǒng)還為可調(diào)磁控管提供了幫助，無論制造商是誰。另外，確定磁控管的幾何形狀（偏轉(zhuǎn)）以*運(yùn)行。
Matesy傳感器通過使用m-cat，您可以增加
性高，因?yàn)榭梢詫π碌拇趴毓苓M(jìn)行接收檢查，并且可以早，地檢測出有缺陷的磁控管。
由于可以以可控的方式設(shè)置可調(diào)磁控管或可以容易地組合合適的磁控管，因此可以實(shí)現(xiàn)層厚度的均勻性。
可以避免靶材的壽命，因?yàn)榭梢员苊鉃R射成本高昂的靶材。
Matesy傳感器特性
采集完整的磁場輪廓
1分鐘內(nèi)完成測量
磁控管偏轉(zhuǎn)的幾何識別
長度從.4-4. m
提供用于圓形陰和平面陰磁控管的系統(tǒng)
對測量任務(wù)的適應(yīng)性
可選地可以在目標(biāo)中測量
可以記錄可選的目標(biāo)參數(shù)（直徑，偏轉(zhuǎn)）
該系統(tǒng)可以在現(xiàn)有的制造過程中實(shí)施
高可用性
m-cat測量單元
磁參數(shù)
磁場配置：33個通道（X，Y，Z）+/- 1
檢測和磁場強(qiáng)度
磁控管偏轉(zhuǎn)的幾何識別
可修剪磁控管的修整輔助功能
野外歷程的圖形表示
Matesy傳感器磁控管的幾何形狀（磁性功能部件的位置）：+/- .1 mm
目標(biāo)的幾何形狀（直徑，偏轉(zhuǎn)）：+/- .1毫米
可以記錄可選的目標(biāo)參數(shù)（直徑，偏轉(zhuǎn)）
具有生命周期管理，視圖和設(shè)置選項(xiàng)的軟件
具有CSV格式的單個測量系列的HSE和導(dǎo)出功能
