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AT-400 原子層沉積系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)AT-400

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所  在  地深圳市

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更新時(shí)間:2018-09-25 10:25:29瀏覽次數(shù):347次

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商鋪產(chǎn)品:31條

所在地區(qū):廣東深圳市

聯(lián)系人:劉先生 (總經(jīng)理)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

原子層沉積(Atomic layer deposition, ALD)是通過(guò)將氣相前驅(qū)體脈沖交替的通入反應(yīng)器,化學(xué)吸附在沉積襯底上并反應(yīng)形成沉積膜的一種方法,是一種可以將物質(zhì)以單原子膜形式逐層的鍍?cè)谝r底表面的方法。因此,它是一種真正的“納米"技術(shù),以精確控制方式實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的超薄薄膜沉積。由于ALD利用的是飽和化學(xué)吸附的特性,因此可以確保對(duì)大面積、多空、管狀、粉末或其他復(fù)雜形狀基體的高保形的均勻沉積

詳細(xì)介紹

原子層沉積(Atomic layer deposition, ALD)是通過(guò)將氣相前驅(qū)體脈沖交替的通入反應(yīng)器,化學(xué)吸附在沉積襯底上并反應(yīng)形成沉積膜的一種方法,是一種可以將物質(zhì)以單原子膜形式逐層的鍍?cè)谝r底表面的方法。因此,它是一種真正的“納米”技術(shù),以精確控制方式實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的超薄薄膜沉積。由于ALD利用的是飽和化學(xué)吸附的特性,因此可以確保對(duì)大面積、多空、管狀、粉末或其他復(fù)雜形狀基體的高保形的均勻沉積。

 

原子層沉積(Atomic layer deposition, ALD)是通過(guò)將氣相前驅(qū)體脈沖交替的通入反應(yīng)器,化學(xué)吸附在沉積襯底上并反應(yīng)形成沉積膜的一種方法,是一種可以將物質(zhì)以單原子膜形式逐層的鍍?cè)谝r底表面的方法。因此,它是一種真正的“納米”技術(shù),以精確控制方式實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的超薄薄膜沉積。由于ALD利用的是飽和化學(xué)吸附的特性,因此可以確保對(duì)大面積、多空、管狀、粉末或其他復(fù)雜形狀基體的高保形的均勻沉積。

 

 

原子層沉積(Atomic layer deposition, ALD)是通過(guò)將氣相前驅(qū)體脈沖交替的通入反應(yīng)器,化學(xué)吸附在沉積襯底上并反應(yīng)形成沉積膜的一種方法,是一種可以將物質(zhì)以單原子膜形式逐層的鍍?cè)谝r底表面的方法。因此,它是一種真正的“納米”技術(shù),以精確控制方式實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的超薄薄膜沉積。由于ALD利用的是飽和化學(xué)吸附的特性,因此可以確保對(duì)大面積、多空、管狀、粉末或其他復(fù)雜形狀基體的高保形的均勻沉積。

 


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