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更新時(shí)間:2024-08-30 08:21:51瀏覽次數(shù):124次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線矩形超高真空插板閥為氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式,外形上美觀,并具有動(dòng)作平穩(wěn)、沖擊振動(dòng)小、使用可靠、密封性能好和壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn),是半導(dǎo)體行業(yè)中真空設(shè)備自動(dòng)化閥門之一。
一、矩形超高真空插板閥概述 此系列閥門為氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式,在結(jié)構(gòu)上設(shè)計(jì)合理,外形上美觀,并具有動(dòng)作平穩(wěn)、沖擊振動(dòng)小、使用可靠、密封性能好和壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn),是半導(dǎo)體行業(yè)中真空設(shè)備自動(dòng)化閥門之一。閥門是以壓縮空氣推動(dòng)氣缸為動(dòng)力,通過(guò)傳動(dòng)桿推(拉)動(dòng)連桿機(jī)構(gòu),帶著驅(qū)動(dòng)體沿軸向運(yùn)動(dòng),驅(qū)動(dòng)體通過(guò)擺桿與閥板連接并帶動(dòng)閥板開(kāi)啟及關(guān)閉動(dòng)作。閥門的介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。 二、矩形超高真空插板閥特點(diǎn) 采用多擺桿均勻分布支撐結(jié)構(gòu),閥板受力均勻,閥門開(kāi)啟沖擊振動(dòng)小,噪聲低; 四滾輪支撐運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu),動(dòng)作平穩(wěn),運(yùn)動(dòng)噪聲??; 動(dòng)密封采用波紋管密封,其它密封件為氟橡膠,密封可靠; 閥體采用不銹鋼內(nèi)部焊接,漏率??; 在更小的體積上,一次性通過(guò)更多的工件,合理使用了空間。
三、矩形超高真空插板閥參數(shù)
類型: 插(閘)板閥
驅(qū)動(dòng)方式: 氣動(dòng)
閥體材料: 不銹鋼
適用真空: 高真空
適用范圍::1×10-6Pa~1.2×105Pa
打開(kāi)時(shí)插板上的壓差:≤2×103Pa任意方向
閥體和閥座漏率:<>
保養(yǎng)循環(huán)次數(shù):10,0000次
閥體烘烤溫度:≤150℃
安裝位置:驅(qū)動(dòng)體水平或垂直
電源:交流220V 50Hz 6W或直流 24V 3W(特殊規(guī)格可定做)
壓縮空氣:0.5~0.7MPa
閥門開(kāi)啟或關(guān)閉時(shí)間:根據(jù)公稱通徑而定
閥門位置指示:帶有啟閉位置指示開(kāi)關(guān)(磁性開(kāi)關(guān))
閥門重量:以不同公稱通徑而定
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