污水處理設(shè)備 污泥處理設(shè)備 水處理過(guò)濾器 軟化水設(shè)備/除鹽設(shè)備 純凈水設(shè)備 消毒設(shè)備|加藥設(shè)備 供水/儲(chǔ)水/集水/排水/輔助 水處理膜 過(guò)濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設(shè)備
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更新時(shí)間：2022-08-15 15:00:39瀏覽次數(shù)：361次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線生產(chǎn)主線為： Load，藥液A槽1、QDR槽2……干燥槽N、Unload，共X個(gè)制程工位, 設(shè)置為6" *1 cassette晶舟上貨，將晶舟置于Robot上貨區(qū)位置，按下『?jiǎn)?dòng)鍵』，Robot將自動(dòng)以?shī)A持方式移至制程槽進(jìn)行預(yù)設(shè)之制程，完成設(shè)備本身設(shè)定之流程，達(dá)成一貫性自動(dòng)控制的功能。本設(shè)備電器控制部分關(guān)鍵件均采用進(jìn)口優(yōu)質(zhì)件，性能可靠，使用壽命長(zhǎng)；及背部設(shè)有吸風(fēng)口，為防止污染空氣，用戶需外接風(fēng)管抽......
產(chǎn)品詳情：
項(xiàng)目 | 說(shuō)明 | |
機(jī)臺(tái)數(shù)量 | 1臺(tái)（套）； | |
機(jī)臺(tái)重量 | XX Kg(預(yù)估值)； | |
清洗能力（采購(gòu)方提供cassette樣品） | 6inch 1cassette / Batch 25 Pcs/cassette； | |
產(chǎn)能要求 | 濕法制程清洗工藝XXXX XXXPCS/ Run（按照30min/Run，50PCS/Run，22小時(shí)/天，26天/月計(jì)算，預(yù)估值）； | |
設(shè)備形式（潔凈度：千級(jí)潔凈室） | 室內(nèi)放置型； | |
機(jī)臺(tái)封面、主要結(jié)構(gòu)材質(zhì) | 聚丙烯PP 10T（）； | |
阻燃聚丙烯PP10T （）； | ||
色聚氯乙烯PVC 10T （√）； | ||
SUS304單鏡面板材1.5T（）； | ||
機(jī)臺(tái)視窗 | 材質(zhì) | 透明之聚氯乙烯PVC 5T （√）； |
SUS304單鏡面板材及鋼化玻璃5T（）； | ||
模式 | 上下舉升式（）； | |
左右推拉式（√）； | ||
機(jī)臺(tái)主機(jī)強(qiáng)度結(jié)構(gòu) | 整體SUS304不銹鋼/碳鋼結(jié)構(gòu)骨架（40*40 40*80）； | |
防漏盤 | 材質(zhì) | 聚丙烯磁白PP板材； |
模式 | 分體式每側(cè)尺寸比設(shè)備本體長(zhǎng)50mm； | |
漏液檢測(cè)裝置 | 材質(zhì) | 防腐材質(zhì)； |
點(diǎn)式 | 單點(diǎn)式漏液檢測(cè)sensor，管路區(qū)和防漏盤均安裝漏液檢測(cè)； | |
其它 | 水平調(diào)整 | 通過(guò)地腳調(diào)整設(shè)備水平； |
設(shè)備移動(dòng) | 設(shè)備裝有樹脂腳輪以備設(shè)備移動(dòng)之用； | |
臺(tái)面板 | 材質(zhì) | ￠5mm左右洞洞結(jié)構(gòu)（√）； |
￠12mm左右洞洞結(jié)構(gòu)（）； | ||
相鄰槽之間須有接水板，接水板須傾斜放置，用以盛接花籃經(jīng)過(guò)時(shí)漏液（√）； | ||
模式 | 可拆式（√）； | |
一體式（）； | ||
排風(fēng)系統(tǒng) | 排風(fēng)口位置 | 設(shè)備后頂部（）； |
設(shè)備后下部（）； | ||
設(shè)備后部（√）； | ||
排風(fēng)通道結(jié)構(gòu) | 1）排風(fēng)強(qiáng)勁合理設(shè)計(jì)，為了排風(fēng)效果達(dá)到，排風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有風(fēng)量導(dǎo)流板； 2)為了方便操作人員根據(jù)情況及時(shí)調(diào)節(jié)排風(fēng)量，操作人員可小范圍調(diào)節(jié)機(jī)臺(tái)排風(fēng)背板上的可拆卸式(以便清除可能產(chǎn)生的結(jié)晶)排風(fēng)柵欄再配合機(jī)臺(tái)視窗上的可調(diào)進(jìn)氣模塊使用達(dá)到使用效果； 3)設(shè)備排風(fēng)通道的底部帶排液管，冷凝回流的廢液通過(guò)管道排放至機(jī)臺(tái)U型濕區(qū)內(nèi)與QDR排出的廢水混合稀釋并排放至機(jī)臺(tái)后方廠務(wù)廢水專用管道內(nèi)； 4）工藝腔內(nèi)每個(gè)工藝槽對(duì)應(yīng)位置都有可調(diào)節(jié)的柵格排風(fēng)結(jié)構(gòu)； | |
機(jī)臺(tái)的電控系統(tǒng) | 安裝在機(jī)體的后部; 觸摸屏及電源控制開關(guān)、照明等安裝在設(shè)備正前方。各槽體的工藝過(guò)程均由 PLC、IPC、溫控器、傳感器等組成。設(shè)備具有上電手動(dòng)操作復(fù)位功能。每個(gè)機(jī)臺(tái)可存儲(chǔ) X 套工藝配方，操作者可通過(guò)觸摸屏調(diào)用預(yù)先編制好的工藝配方。軟件系統(tǒng)具有工藝配方參數(shù)設(shè)定、手動(dòng)維護(hù)、自動(dòng)運(yùn)行、狀態(tài)監(jiān)控等畫面。軟件具有報(bào)警信息、歷史記錄、維護(hù)信息等系統(tǒng)記錄。軟件系統(tǒng)具有 3 級(jí)加密進(jìn)入權(quán)限設(shè)置：分別為設(shè)備作業(yè)員、設(shè)備工程師、工藝工程師，不可混用權(quán)限； | |
規(guī)格特點(diǎn)
01）溢流工藝的應(yīng)用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；
02）優(yōu)化配管設(shè)置，節(jié)約DIW消耗量；
03）工藝柔性化設(shè)計(jì)，工藝更改方便迅速；多工藝數(shù)據(jù)庫(kù)，可供用戶使用和存儲(chǔ)；
04）整機(jī)在使用、運(yùn)行過(guò)程中平穩(wěn)、可靠、不產(chǎn)塵、無(wú)溢出油污等，需潤(rùn)滑的零件必須密封處理；
05）整機(jī)采用PLC控制，IPC顯示，清洗槽定溫控制，過(guò)溫保護(hù)及超(兆)聲低液位保護(hù)；
06）整機(jī)采用全封閉設(shè)計(jì)。設(shè)備運(yùn)行峰值噪音小且操作、維護(hù)和維修方便；
07）整機(jī)耐酸堿溶液及揮發(fā)氣體的腐蝕，電器元件正常安全使用；
08）機(jī)臺(tái)設(shè)有緊急停止回路（EMO急停按鈕，設(shè)備兩端各一個(gè)），并按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置接地保護(hù)斷路器；
09）整機(jī)前后區(qū)隔離，底板傾斜設(shè)計(jì)，便于排液，處設(shè)有漏液報(bào)警，前后區(qū)域均設(shè)水槍，確保漏液及時(shí)沖洗；
10）清洗槽體及管路配有明顯標(biāo)識(shí)或防錯(cuò)設(shè)計(jì)，防止溶劑混用；
11）設(shè)計(jì)合理化的排風(fēng)管路，使有機(jī)液揮發(fā)氣體的污染最小化；
12）設(shè)備內(nèi)部輸水、輸氣管道管線布置于主體設(shè)備內(nèi)部；
13）廢水按照高氟、低氟、酸堿、酸堿含醇四類排放；
14）設(shè)備內(nèi)廢氣總管路可用維護(hù)區(qū)水槍清洗，清洗廢液流入有機(jī)、酸堿廢液總管；
15）工藝溢流槽體都需具有外槽獨(dú)立溢流方式，需采用四面溢流；如果無(wú)法實(shí)現(xiàn)，至少需要三面溢流；
16) 設(shè)備后方、左右兩側(cè)需留有方便維護(hù)、維修的窗口；
17）機(jī)臺(tái)排風(fēng)口處安裝排風(fēng)壓力監(jiān)測(cè)裝置（帶信號(hào)報(bào)警裝置）；
18）機(jī)臺(tái)總進(jìn)口處（N2或CDA）安裝有壓力監(jiān)測(cè)裝置（帶信號(hào)報(bào)警裝置）；
19）工藝槽槽體傾斜式，便于排空；
20）機(jī)臺(tái)電器部分具備正壓N2保護(hù)，防止腐蝕；
21）溢流：IDLE TIME＞SET TIME，溢流停止，達(dá)到節(jié)能目的；
22）廢液排放，每個(gè)工藝槽采用獨(dú)立排放管道，對(duì)應(yīng)QDR也采用獨(dú)立排放口；
23）排風(fēng)，工藝腔內(nèi)每個(gè)工藝槽對(duì)應(yīng)位置都有可調(diào)節(jié)的柵格排風(fēng)結(jié)構(gòu)；
24）換液提醒功能，所有制程能根據(jù)配液時(shí)間或運(yùn)行批次數(shù)量通知換酸；
25）工藝結(jié)束可以設(shè)置預(yù)先報(bào)警功能，預(yù)報(bào)警聲音和實(shí)際報(bào)警聲音要有所區(qū)分；
26）工藝說(shuō)明: 自動(dòng)傳動(dòng)，自動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)槽體間傳送工件，手臂按照菜單選擇流程作業(yè)，生產(chǎn)部人員選取菜單進(jìn)行作業(yè)，這個(gè)過(guò)程全自動(dòng)進(jìn)行；
27）全程自動(dòng)化控制，工藝過(guò)程中沒(méi)有人工干預(yù)，保證產(chǎn)品性能的一致性；
28）搬運(yùn)機(jī)械手的橫向移動(dòng)和縱向提升均采用日本伺服馬達(dá)，閉環(huán)控制，定位精度≤1mm，可靠性高；采用雙導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)及線性模塊傳動(dòng)，幾何曲線加減速運(yùn)動(dòng)，沖擊小、運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)；
29）搬運(yùn)機(jī)械手臂單獨(dú)急停、暫停開關(guān)、系統(tǒng)急停開關(guān)和機(jī)械手馬達(dá)電機(jī)自動(dòng)過(guò)載保護(hù)等多重保護(hù)，確保操作者的安全；
30）搬運(yùn)機(jī)械手臂設(shè)有防夾防撞預(yù)警裝置（光電傳感器、機(jī)械傳感器、機(jī)械裝置等），以保護(hù)操作人員安全；
31）上下料方向：左進(jìn)右出，花籃水平放置；
32）顆粒指標(biāo)，尺寸大于XX μm的顆粒，密度不超過(guò)XX個(gè)/cm2；
33）目前金屬離子殘留測(cè)試，包括XX種元素：------,每一種金屬元素殘留指標(biāo)均要求
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