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全自動GaN去光阻清洗機

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更新時間：2022-08-15 15:03:26瀏覽次數(shù)：179次

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北京華林嘉業(yè)科技有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：10條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：Henry （大區(qū)經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

生產(chǎn)主線為：上料臺、超聲循環(huán)溢流槽1、循環(huán)溢流槽2、循環(huán)溢流槽3、QDR槽4、QDR槽5、下料臺，共5個制程工位。本設(shè)備電器控制部分關(guān)鍵件均采用進口優(yōu)質(zhì)件，性能可靠，使用壽命長；及背部設(shè)有吸風(fēng)口，為防止污染空氣，用戶需外接風(fēng)管抽風(fēng)。本機臺是一個人機界面（觸摸屏）加PLC控制的自動控制系統(tǒng)，操作者只須將清洗花籃放置于上料工位上，再由PLC控制機械手將花籃輸送到各個工位，按照事先輸入的程序?qū)M行各......

詳細介紹

產(chǎn)品詳情：

項目			說明
機臺數(shù)量			1臺（套）；
機臺重量			XX；
加工對象			藍寶石基底的GaN、砷化鎵基底的AlGaInP晶片和PSS襯底；
清洗能力（采購方提供cassette樣品）			4 inch 2 cassette / Batch 25 Pcs/cassette；6 inch 1 cassette / Batch 25 Pcs/cassette；
產(chǎn)能要求			濕法制程清洗工藝XXXX Pcs /月（按照30min/Run，50PCS/Run，22小時/天，26天/月計算，預(yù)估值）；
設(shè)備形式（潔凈度：千級潔凈室）			室內(nèi)放置型；
機臺封面、主要結(jié)構(gòu)材質(zhì)			聚丙烯磁白PP 10T（）；
			阻燃聚丙烯PP 10T （）；
			米黃色聚氯乙烯PVC 10T （）；
			SUS304單鏡面板材1.5T（√）；
機臺視窗	材質(zhì)		透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC 5T （√）；
			SUS304單鏡面板材及鋼化玻璃 5T（）；
	模式		上下舉升式（）；
			左右推拉式（√）；
機臺主機強度結(jié)構(gòu)			整體SUS304不銹鋼結(jié)構(gòu)骨架；
防漏盤	材質(zhì)		聚丙烯磁白PP板材；
	模式		分體式每側(cè)尺寸比設(shè)備本體長50mm；
漏液檢測裝置	材質(zhì)		防腐材質(zhì)；
	點式		單點式；
其它	水平調(diào)整		通過地腳調(diào)整設(shè)備水平；
	設(shè)備移動		設(shè)備裝有樹脂腳輪以備設(shè)備移動之用；
臺面板	材質(zhì)		￠12mm左右洞洞結(jié)構(gòu) 聚丙烯磁白PP板材（）；
			￠12mm左右洞洞結(jié)構(gòu) SUS304單鏡面板材（√）；
			相鄰槽之間須有接水板，接水板須傾斜放置，用以盛接花籃經(jīng)過時漏液（）；
	模式		可拆式（√）；
			一體式（）；
排風(fēng)系統(tǒng)	排風(fēng)口位置		設(shè)備后頂部（√）；
			設(shè)備后下部（）；
			設(shè)備后部（）；
	排風(fēng)通道結(jié)構(gòu)		1）排風(fēng)強勁合理設(shè)計，為了排風(fēng)效果達到，排風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有風(fēng)量導(dǎo)流板； 2）為了方便操作人員根據(jù)情況及時調(diào)節(jié)排風(fēng)量，操作人員可小范圍調(diào)節(jié)機臺排風(fēng)背板上的可拆卸式(以便清除可能產(chǎn)生的結(jié)晶)排風(fēng)柵欄再配合機臺視窗上的可調(diào)進氣模塊使用達到使用效果； 3）設(shè)備排風(fēng)通道的底部帶排液管，冷凝回流的廢液通過管道排放至機臺U型濕區(qū)內(nèi)與QDR排出的廢水混合稀釋并排放至機臺后方廠務(wù)廢水專用管道內(nèi)；
機臺的電控系統(tǒng)			安裝在機體的后部; 觸摸屏及電源控制開關(guān)、照明等安裝在設(shè)備正前方。各槽體的工藝過程均由PLC、觸摸屏、溫控器、傳感器等組成。設(shè)備具有上電手動操作復(fù)位功能。每個機臺可存儲X套工藝配方，操作者可通過觸摸屏調(diào)用預(yù)先編制好的工藝配方。軟件系統(tǒng)具有工藝配方參數(shù)設(shè)定、手動維護、自動運行、狀態(tài)監(jiān)控等畫面。軟件具有報警信息、歷史記錄、維護信息等系統(tǒng)記錄。軟件系統(tǒng)具有3級加密進入權(quán)限設(shè)置：分別為設(shè)備作業(yè)員、設(shè)備工程師、工藝工程師，不可混用權(quán)限；
工藝記錄儲存類型		工業(yè)掃碼槍+PLC+觸摸屏	使用程序時刷條碼確認(rèn)程序,完成生產(chǎn)工藝中參數(shù)及工藝步驟等詳細記錄存儲,便于采購方對生產(chǎn)產(chǎn)品品質(zhì)管控; 程序運行記錄可定時存儲，存儲數(shù)據(jù)類型參考如下：程序號、操作者、槽體溫度、設(shè)定時間、運行時間、報警信息等（待定）。PLC或觸摸屏具有USB接口，可讀出程序運行記錄；

規(guī)格特點：
01）工藝說明: 自動傳動，自動方式實現(xiàn)槽體間傳送工件，手臂按照菜單選擇流程作業(yè)，生產(chǎn)部人員選取菜單進行作業(yè)，這個過程全自動進行；
02）全程自動化控制，工藝過程中沒有人工干預(yù)，保證產(chǎn)品性能的一致性；
03）搬運機械手的橫向移動和縱向提升均采用日本伺服馬達，閉環(huán)控制，定位精度≤1mm，可靠性高；采用雙導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)及線性模塊傳動，幾何曲線加減速運動，沖擊小、運動平穩(wěn)；
04）搬運機械手臂單獨急停、暫停開關(guān)、系統(tǒng)急停開關(guān)和機械手馬達電機自動過載保護等多重保護，確保操作者的安全；
05）搬運機械手運行平穩(wěn)，帶有過載和過流保護，工藝槽發(fā)生異常報警需將工藝槽產(chǎn)品放置到溢流槽保護并立即啟動報警（手臂故障需要立即發(fā)出報警并不可消除）；當(dāng)工裝出現(xiàn)意外情況時程序自動將藥液排空注入DIW稀釋救貨；
06）工藝槽設(shè)有花籃物理檢測裝置，防止壓籃；
07）溢流工藝的應(yīng)用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；
08）優(yōu)化配管設(shè)置，節(jié)約DIW消耗量；
09）工藝柔性化設(shè)計，工藝更改方便迅速；多工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲；
10）整機在使用、運行過程中平穩(wěn)、可靠、不產(chǎn)塵、無溢出油污等，需潤滑的零件必須密封處理；
11）整機采用PLC控制，觸摸屏顯示，清洗槽定溫控制，過溫保護及超(兆)聲低液位保護；
12）整機采用全封閉設(shè)計。設(shè)備運行峰值噪音小且操作、維護和維修方便；
13）整機耐酸堿溶液及揮發(fā)氣體的腐蝕，電器元件正常安全使用；
14）機臺設(shè)有緊急停止回路（EMO急停按鈕，設(shè)備兩端各一個），并按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置接地保護斷路器；
15）整機前后區(qū)隔離，底板傾斜設(shè)計，便于排液，處設(shè)有漏液報警，前后區(qū)域均設(shè)水槍，確保漏液及時沖洗；
16）清洗槽體及管路配有明顯標(biāo)識或防錯設(shè)計，防止溶劑混用；
17）設(shè)計合理化的排風(fēng)管路，使酸堿液揮發(fā)氣體的污染最小化；
18）設(shè)備內(nèi)部輸水、輸氣管道管線布置于主體設(shè)備內(nèi)部；
19）廢水按照高氟、低氟、酸堿、酸堿含醇四類排放；
20）設(shè)備內(nèi)廢氣總管路可用維護區(qū)水槍清洗，清洗廢液流入酸堿廢液總管；
21）工藝溢流槽體都需具有外槽獨立溢流方式，需采用四面溢流；如果無法實現(xiàn)，至少需要三面溢流；
22）搬運機械手抓驅(qū)動部分為電機馬達驅(qū)動完成動作并配有傳感器實時監(jiān)測,抓取部位設(shè)有防壓框傳感器,檢測抓取成功與否；
23）搬運機械手臂設(shè)有防夾防撞預(yù)警裝置（光電傳感器、機械傳感器、機械裝置等），以保護操作人員安全；
24）工藝槽工作區(qū)域與機臺控制外配有安全監(jiān)測裝置，防止搬運機械手對操作人員的意外損傷；
25) 設(shè)備后方、左右兩側(cè)需留有方便維護、維修的窗口；
26) 機臺上料下料區(qū)各配水***2把；
27）機臺排風(fēng)口處安裝排風(fēng)壓力監(jiān)測裝置（帶信號報警裝置）；
28）機臺總進口處（N2或CDA）安裝有壓力監(jiān)測裝置（帶信號報警裝置）；
29）工藝槽槽底傾斜式，便于排空；
30）根據(jù)工藝要求選擇配套UPS電源（15-20min）；
31) 排風(fēng)調(diào)節(jié)板根據(jù)風(fēng)壓可自動調(diào)節(jié)；