在美國和日本從70年代開始安裝。早期的FGD系統(tǒng)包括以下一些流程：石灰基流質(zhì)；鈉基溶液；石灰石基流質(zhì)；堿性飛灰基流質(zhì)；雙堿（石灰和鈉）；鎂基流質(zhì)；Wellman-Lord流程。采用了廣泛的吸收類型，包括通風(fēng)型、垂直逆流噴射塔、水平噴射塔，并采用了一些內(nèi)部結(jié)構(gòu)如托盤、填料、玻璃球等來增進(jìn)反應(yīng)。*代FGD的效率一般為70%~85。除少數(shù)外，副產(chǎn)品無任何商用價(jià)值只能作為廢料排放，只有鎂基法和Wellman-Lord法產(chǎn)出有商用價(jià)值的硫和硫酸。特征是初投資不高，但運(yùn)行維護(hù)費(fèi)高而系統(tǒng)可靠性低。結(jié)垢和材料失效是大的問題。隨著經(jīng)驗(yàn)的增長，對(duì)流程做了改進(jìn)，降低了運(yùn)行維護(hù)費(fèi)提高可靠性。

第二代濕法煙氣脫硫系統(tǒng)

在80年代早期開始安裝。為了克服*代系統(tǒng)中的結(jié)垢和材料問題，出現(xiàn)了干噴射吸收器，爐膛和煙道噴射石灰和石灰石也接近了商業(yè)運(yùn)行。然而占主流的FGD技術(shù)還是石灰基、石灰石基的濕清洗法，利用填料和玻璃球等的通風(fēng)清洗法消失了。改進(jìn)的噴射塔和淋盤塔是較常見的。流程不同其效率也不同。初的干噴射FGD可達(dá)到70%~80%，在某些改進(jìn)情形下可達(dá)到90%，爐膛和煙道噴射法可達(dá)到30%~50%，但反應(yīng)劑消耗量大。隨著對(duì)流程的改進(jìn)和運(yùn)行經(jīng)驗(yàn)的提高，可達(dá)到90%的效率。美國所有第二代FGD系統(tǒng)的副產(chǎn)物都作為廢物排走了。然而在日本和德國，在石灰石基濕清洗法中把固態(tài)副產(chǎn)品強(qiáng)制氧化，得到在某些工農(nóng)業(yè)領(lǐng)域中有商業(yè)價(jià)值的石膏。第二代FGD系統(tǒng)在運(yùn)行維護(hù)費(fèi)用和系統(tǒng)可靠性方面都有所進(jìn)步。

第三代濕法煙氣脫硫系統(tǒng)

爐膛和煙道噴射流程得到了改進(jìn)，而LIFAC和流化床技術(shù)也發(fā)展起來了。通過廣泛采用強(qiáng)制氧化和鈍化技術(shù)，影響石灰、石灰石基系統(tǒng)可靠性的結(jié)垢問題基本解決了。隨著對(duì)化學(xué)過程的進(jìn)一步了解和使用二基（DBA）這樣的添加劑，這些系統(tǒng)的可靠性可以達(dá)到95%以上。鈍化技術(shù)和DBA都應(yīng)用于第二代FGD系統(tǒng)以解決存在的問題。許多這些系統(tǒng)的脫硫效率達(dá)到了95%或更高。有些系統(tǒng)的固態(tài)副產(chǎn)品可以應(yīng)用于農(nóng)業(yè)和工業(yè)。在德國和日本，生產(chǎn)石膏已是電廠的一個(gè)常規(guī)項(xiàng)目。隨著設(shè)備可靠性的提高，設(shè)置冗余設(shè)備的必要性減小了，單臺(tái)反應(yīng)器的煙氣處理量越來越大。在70年代因投資大、運(yùn)行費(fèi)用高和存在腐蝕、結(jié)垢、堵塞等問題，在火電廠中聲譽(yù)不佳。經(jīng)過15年實(shí)踐和改進(jìn)，工作性能與可靠性有很大提高，投資和運(yùn)行費(fèi)用大幅度降低，使它的下列優(yōu)點(diǎn)較為突出：

（1）有在火電廠*應(yīng)用的經(jīng)驗(yàn)；

（2）脫硫效率和吸收利用率高（有的機(jī)組在Ca/S接近于1時(shí)，脫硫率超過90%）；

（3）可用性好（近安裝的機(jī)組，可用性已超過90%）。人們對(duì)濕法的觀念，從而發(fā)生轉(zhuǎn)變。