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H5150 高純氣體分析儀

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H310動(dòng)態(tài)稀釋配氣儀 H310i動(dòng)態(tài)稀釋配氣儀 H310(C)多組份氣液混合動(dòng)態(tài)配氣系統(tǒng) H320(A)稀釋通道采樣器 H320(B)稀釋通道采樣器 H330分流采樣控......

詳細(xì)介紹

華翼科技H5150脈沖放電氦離子化（PDHID）在線氣相色譜儀，配備了高靈敏度PDHID檢測(cè)器（脈沖放電氦離子化檢測(cè)器），對(duì)高純氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)限可達(dá)到ppb級(jí)，是高純氦、高純氬、高純氮、高純氫等大宗氣體及各類電子級(jí)氣體分析的選擇。
適用標(biāo)準(zhǔn)：
GBT28726—2012《氣體分析-氦離子化氣相色譜法》
<高純氣標(biāo)準(zhǔn)>
GB/T 8979-2008《高純氮》 GB/T 14599-2008《高純氧》
GB/T 4844.3-1995 《高純氦》 GB/T 4842-2006《氬》
GB/T 7445-1995 《純氫、高純氫、超純氫》 GB/T 17873-1999《純氖》
GB/T 5829-1995《氪氣》 GB/T 5828-1995《氙氣》
HG/T 3633-1999《純甲烷》 GB 10621-2006《食品添加劑液體二氧化碳》
<電子氣標(biāo)準(zhǔn)>
GB/T 16942-2009《電子工業(yè)用氣體氫》 GB/T 16943-2009《電子工業(yè)用氣體氦》
GB/T 16944-2009《電子工業(yè)用氣體氮》 GB/T 16945-2009《電子工業(yè)用氣體氬》
GB/T 14604-2009《電子工業(yè)用氣體氧》 GB/T 14600-2009《電子工業(yè)用氣體氧化氬氮》
GB/T 15909-2009《電子工業(yè)用氣體硅烷》GB/T 21287-2007《電子工業(yè)用氣體三氟化氮》
主要特點(diǎn)：

1. 操作自動(dòng)化程度高，用戶只需按動(dòng)一次啟動(dòng)鍵，即可完成樣品分析；
2. 采用了高靈敏度氦離子化檢測(cè)器，該檢測(cè)器對(duì)各痕量組分的檢測(cè)靈敏度如下表所示；

雜質(zhì)種類		H₂	O₂	N₂	CH₄	CO	CO₂
檢測(cè)限（ppb）	5		10	10	5	25	5

3. 選用經(jīng)特殊處理的色譜柱，消除了色譜柱對(duì)O₂、CO等痕量組分的非正常吸附現(xiàn)象；
4. 所采用的進(jìn)樣閥及切換閥均為進(jìn)口帶吹掃功能的產(chǎn)品，在保證儀器耐用性的同時(shí)，消除了空氣滲漏對(duì)樣品分析結(jié)果的影響；
5. 所有的接頭及管線均經(jīng)過拋光處理，且接頭處經(jīng)高精度加工處理，一是為防止氣體泄漏，二是將系統(tǒng)死體積降至，三是減小某些痕量組分的吸附。另外，色譜柱兩端的密封方式為VCR密封，其他接頭均采用鍍金卡套密封，泄漏量比普通卡套形式低一個(gè)數(shù)量級(jí)；
6. 采用背壓閥控制的升壓進(jìn)樣方式，能夠消除進(jìn)樣波動(dòng)并獲得相對(duì)較高的分析靈敏度；
7. 所有管線，包括色譜柱管，均采用VICI產(chǎn)品，保證管壁光潔度；
8. 儀器配備有專用的載氣減壓器、進(jìn)口載氣純化器及采樣器，保證分析結(jié)果的準(zhǔn)確性；
9. 可配備我公司的氧氬分離組件，用于分析氬氣之外樣品氣中氧及氬含量，尤其在分析高純氧中雜質(zhì)含量時(shí)，無需采用脫氧裝置，能夠大大減少維護(hù)工作量。
技術(shù)指標(biāo):

主要參數(shù)	參數(shù)范圍
測(cè)量范圍	0~1000ppm
檢出限	<10ppb CH₄
重復(fù)性	≤2%
輸出	MODBUS
電源	AC220V/50Hz
工作環(huán)境	5~35°C，20~90% RH
氣體接口	1/8”不銹鋼卡套
重量	20~30kg
外形尺寸(深×寬×高)	510 mm×440 mm×310 mm