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行業(yè)產(chǎn)品

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湖南頂立科技有限公司


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熱解石墨沉積爐

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

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更新時(shí)間：2022-03-24 11:55:39瀏覽次數(shù)：178次

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經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：106條

所在地區(qū)：湖南長(zhǎng)沙市

聯(lián)系人：頂立 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

熱解石墨沉積爐主要用于石墨、半導(dǎo)體器件、耐熱沖刷材料的表面熱解炭涂層制備

詳細(xì)介紹

熱解石墨沉積爐技術(shù)特征

電阻爐可采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫，溫度均勻性好；

采用智能壓力調(diào)控，壓力波動(dòng)小；

全封閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；

多通道工氣路，流場(chǎng)均勻，無(wú)沉積死角，沉積效果好；

多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng)，環(huán)境友好，易清理；

可選配外循環(huán)快冷系統(tǒng)，降溫時(shí)間短，生產(chǎn)效率高；

適于工藝氣氛：真空/CH4/C3H6/H2/N2/Ar。

熱解石墨沉積爐產(chǎn)品規(guī)格

參數(shù)/型號(hào)VCVD-0305-CVCVD-0505-CVCVD-0608-CVCVD-0612-CVCVD-0812-CVCVD-1120-CVCVD-1218-CVCVD-1520-C
工作區(qū)尺寸 φ×H（mm）300×500500×500600×800600×1200800×12001100×20001200×18001500×2000
溫度（℃）23002300230023002300230023002300
溫度均勻性（℃）±5±5±5/±7.5±7.5/±10±7.5/±10±10/±15±10/±15±15/±20
極限真空度（Pa）1-1001-1001-1001-1001-1001-1001-1001-100
壓升率（Pa/h）0.670.670.670.670.670.670.670.67
加熱方式電阻/感應(yīng)電阻/感應(yīng)電阻/感應(yīng)電阻/感應(yīng)電阻/感應(yīng)電阻/感應(yīng)電阻/感應(yīng)電阻/感應(yīng)

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

熱解石墨沉積爐配置選擇

結(jié)構(gòu)形式：立式-上出料/下出料

爐門鎖緊方式：手動(dòng)/自動(dòng)

爐殼材質(zhì)：內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì)：碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈

加熱器、馬弗材質(zhì)：石墨/CFC

紅外儀：?jiǎn)伪壬?雙比色

電源：KGPS/IGBT(僅適用于中頻加熱)

關(guān)鍵詞：加熱器

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