当着夫的面被夫上司玩弄,最近免费中文字幕中文高清百度 ,超碰CAOPORON入口,精品国产日韩一区二区三区

行業(yè)產(chǎn)品

  • 行業(yè)產(chǎn)品

湖南頂立科技有限公司


當(dāng)前位置：湖南頂立科技有限公司>>半導(dǎo)體材料熱工裝備>>碳化硅外延生長爐

碳化硅外延生長爐

返回列表頁
參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式：頂立查看聯(lián)系方式

更新時間：2022-03-24 12:01:13瀏覽次數(shù)：494次

聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：106條

所在地區(qū)：湖南長沙市

聯(lián)系人：頂立 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

碳化硅外延生長爐主要用于石墨盤或碳化盤的碳化硅外延生長制備

詳細(xì)介紹

碳化硅外延生長爐技術(shù)特征

采用*的控制技術(shù)，能精密控制MTS/MS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動??；

多通道工藝氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；

多級高效尾氣處理系統(tǒng)，能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產(chǎn)物，環(huán)境友好；

適于工藝氣氛：真空/H2/N2/Ar/MTS/MS。

碳化硅外延生長爐產(chǎn)品規(guī)格

參數(shù)/型號HCVD-101015-SiCHCVD-152023-SiCVCVD-0608-SiCVCVD-0612-SiCVCVD-0812-SiCVCVD-1120-SiCVCVD-1218-SiCVCVD-1520-SiC
工作區(qū)尺寸 W×H×L（mm）1000×1000×15001500×2000×2300600×800600×1200800×12001100×20001200×18001500×2000
溫度（℃）15001500150015001500150015001500
溫度均勻性（℃）±10/±15±15/±20±5/±7.5±7.5/±10±7.5/±10±10/±15±10/±15±15/±20
極限真空度（Pa）1-1001-1001-1001-1001-1001-1001-1001-100
壓升率（Pa/h）0.670.670.670.670.670.670.670.67
加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

碳化硅外延生長爐配置選擇

結(jié)構(gòu)形式：臥式-單開門/門；立式-上出料/下出料

爐門鎖緊方式：手動/自動

爐殼材質(zhì)：內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì)：碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈

加熱器、馬弗材質(zhì)：石墨/CFC

熱電偶：C/S分度號

真空泵：機械泵組/耐腐蝕泵組


您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN

環(huán)保在線 設(shè)計制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ? Copyright(C)?2021 http://www.yixinui.com,All rights reserved.

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，環(huán)保在線對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。 溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

請 登錄 后再收藏

提示

您的留言已提交成功！我們將在第一時間回復(fù)您~
渭源县| 靖安县| 洮南市| 洞口县| 周至县| 巨鹿县| 天津市| 曲沃县| 四子王旗| 延边| 南开区| 大方县| 永胜县| 榕江县| 龙口市| 吉木萨尔县| 松桃| 上林县| 宝应县| 竹溪县| 白银市| 濮阳市| 安宁市| 手游| 牙克石市| 峡江县| 宾阳县| 安仁县| 会宁县| 盐津县| 云浮市| 栾川县| 临颍县| 辽宁省| 阿瓦提县| 宁夏| 屏山县| 北海市| 赤峰市| 昂仁县| 瑞安市|