結(jié)構(gòu)形式	其他	產(chǎn)地	國產(chǎn)
公稱壓力	真空	密封形式	軟密封型
執(zhí)行質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)	國標(biāo)

CIQ氣動(dòng)超高真空蝶閥用于接通或切斷真空管路中的氣流。碟閥經(jīng)過兩次動(dòng)作完成關(guān)閉或打開蝶門的過程，閥體的兩面沒有正反面安裝方向，閥門的壓強(qiáng)范圍可拓寬到2x105-1.3-7x10Pa.適用介質(zhì)為純凈空氣或非腐蝕性氣體。

詳細(xì)介紹

CIQ氣動(dòng)超高真空蝶閥
CIQ氣動(dòng)超高真空蝶閥用于接通或切斷真空管路中的氣流。碟閥經(jīng)過兩次動(dòng)作完成關(guān)閉或打開蝶門的過程，閥體的兩面沒有正反面安裝方向，閥門的壓強(qiáng)范圍可拓寬到2x105-1.3-7x10Pa.適用介質(zhì)為純凈空氣或非腐蝕性氣體。
主要技術(shù)性能

適用范圍：	2x105~6.7-7x10Pa
閥門漏率：	≤1.3x10-7 Pa.L/S(正反向)
適用溫度：	-30~+150℃
安裝狀態(tài)：	任意
安裝方向：	任意
開啟壓差：	2x105Pa.
開門角度：	0-90°
啟閉時(shí)間：	3S

主要零件材料
閥體、蝶門、閥桿：不銹鋼
密封件：氟橡膠，波紋管（軸封）
外形及連接尺寸(mm)（GB6070）

型號(hào)	DN(mm)	D	Do	D1	B	H	B1	n-Mc
CIQ-63	63	130	110	68	40	235	62	4-M8
CIQ-80	80	145	125	85	40	240	62	8-M8
CIQ-100	100	165	145	105	40	240	62	8-M8
CIQ-160	160	225	200	165	56	310	75	8-M10
CIQ-200	200	285	260	208	70	360	75	12-M10
CIQ-250	250	335	310	258	74	396	75	12-M10
CIQ-320	320	425	395	328	94	488	94	12-M12
CIQ-400	400	510	480	410	106	538	114	16-M12