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硅晶圓行業(yè)超純水系統(tǒng)
超純水設(shè)備的工作原理是對(duì)水施加一定的壓力,使水分子和離子態(tài)的礦物質(zhì)元素通過(guò)反滲透膜,而溶解在水中的絕大部分無(wú)機(jī)鹽(包括重金屬)、有機(jī)物以及細(xì)菌、病毒等無(wú)法透過(guò)反滲透膜,從而使?jié)B透過(guò)的純凈水和無(wú)法滲透過(guò)的濃縮水嚴(yán)格的分開(kāi)。
超純水設(shè)備的優(yōu)勢(shì):
經(jīng)過(guò)超純水設(shè)備的水是除了水分子外幾乎無(wú)其他雜質(zhì)的,它相對(duì)于的其他的純水設(shè)備有著更好的出水效果。超純水設(shè)備屬于高科技綠色環(huán)保技術(shù)。環(huán)保特性好,操作使用簡(jiǎn)便,愈來(lái)愈多地被人們所認(rèn)可,也愈來(lái)愈多地在電子、電力、化工等行業(yè)得到推廣。超純水設(shè)備在純凈水期間采用了預(yù)處理、超濾、微濾、反滲透、常規(guī)混床、EDI、核能極精拋光混床等工藝流程。
超純水設(shè)備具有連續(xù)運(yùn)行性,不需要再生產(chǎn);結(jié)構(gòu)緊湊、管理分布合理、簡(jiǎn)單;無(wú)酸堿處理,節(jié)能環(huán)保;采用潔凈循環(huán)管道,確保系統(tǒng)內(nèi)無(wú)死水。
使用超純水設(shè)備有哪些注意事項(xiàng)?
進(jìn)水管道需要用過(guò)濾過(guò)的水進(jìn)行沖洗然后才可接入到工業(yè)超純水設(shè)備EDI模塊,否則會(huì)由于未進(jìn)行清洗而使管路碎片雜物進(jìn)入模塊造成無(wú)法挽救的損失。對(duì)模塊緩慢增壓,時(shí)間控制在一到兩分鐘,以此避免水錘造成的損害。
切記:不要讓模塊的壓力超過(guò)規(guī)定范圍。確認(rèn)各類水的流量充足,如淡水流量,濃水排放流量計(jì)濃水循環(huán)流量等,并保持聯(lián)動(dòng)裝置正常的運(yùn)作。
硅晶圓行業(yè)超純水系統(tǒng)
對(duì)模塊的進(jìn)水水質(zhì)進(jìn)行檢驗(yàn),如余氯或其他氧化劑。進(jìn)水水質(zhì)需符合進(jìn)水指標(biāo)。若進(jìn)水硬度大于0.5ppm,又或是其他進(jìn)水指標(biāo)達(dá)不到要求而運(yùn)行的話,會(huì)損壞模塊。這時(shí)就要采取定期用酸清洗或是濃水管道軟化的辦法若EDI超純水設(shè)備有加鹽泵系統(tǒng),那么對(duì)鹽的成分和質(zhì)量須仔細(xì)檢查和嚴(yán)格要求,用鹽指標(biāo)可參考用戶手冊(cè)。若長(zhǎng)期用不達(dá)標(biāo)的鹽會(huì)對(duì)膜造成損傷。