目錄:北京杜克泰克科技有限公司>>在線式氣體分析儀>> DKG-ONE CF4氣態(tài)分子污染物CF4泄漏分析儀
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概述
氣態(tài)分子污染物CF4泄漏分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強光聲光譜探測技術,結(jié)合量子級聯(lián)激光(QCL)光源,工作于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結(jié)合提供了足夠的靈敏度可以無時延的探測微小濃度的CF4噴濺或者溢出,同時保證了超高水平的穩(wěn)定性。重新校準的周期長達幾個月甚至幾年,大大減低了總體持有成本。
氣態(tài)分子污染物CF4泄漏分析儀測量參數(shù):
l響應時間:取決于用戶可定義通道積分時間CIT以及氣體沖洗設定。根據(jù)平均時間和采樣設定從大約10秒到幾分鐘不等
l 監(jiān)測下限:小于0.1ppb
l動態(tài)量程:大于5個數(shù)量級(檢測下限的100,000倍)
l重復性:運行條件下,校準濃度重復性小于1%
l準確度:校準濃度高于5%,受限于校準氣體準確度
l溫度穩(wěn)定性:在運行溫度范圍內(nèi)的環(huán)境溫度變化不會導致漂移
l 壓力穩(wěn)定性:壓力范圍內(nèi)的樣品壓力變化不會導致漂移
優(yōu)勢
l 準確、可靠和低維護成本的潔凈室污染控制
l 快速的響應時間,以捕捉濃度突然上升
l 獨立運行系統(tǒng),內(nèi)置氣體交換泵
l 無耗材或者化學試劑
l 短光程,單點校準也可達到業(yè)內(nèi)水平的動態(tài)量程
l 直接吸收測量,無漂移
l 校準間隔長(可達數(shù)年)
l 高選擇性,不受乙醛和其他VOC的干擾