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實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氣態(tài)分子污染物AMC

實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氣態(tài)分子污染物AMC

檢測(cè)需求

潔凈室需要控制污染物水平。準(zhǔn)確、可靠和低維護(hù)成本的潔凈室氣態(tài)分子污染物AMC控制可以顯著的提升產(chǎn)能。

可靠的監(jiān)測(cè)

高靈敏度的DKG ONE-CF4可以在生產(chǎn)環(huán)境中快速的探測(cè)污染物。另外，直接吸收式的檢測(cè)因其零背景的性質(zhì)，可保證長(zhǎng)期高穩(wěn)定性。DKG ONE-CF4可與其他檢測(cè)儀器，如顆粒物監(jiān)測(cè)儀等，整合在一個(gè)機(jī)柜里。

技術(shù)應(yīng)用

DKG ONE-CF4分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強(qiáng)光聲光譜探測(cè)技術(shù)，結(jié)合量子級(jí)聯(lián)激光（QCL）光源，工作于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結(jié)合提供了足夠的靈敏度可以無(wú)時(shí)延的探測(cè)最微小濃度的CF4噴濺或者溢出，同時(shí)保證了超高水平的穩(wěn)定性。重新校準(zhǔn)的周期長(zhǎng)達(dá)幾個(gè)月甚至幾年，大大減低了總體持有成本。

優(yōu)勢(shì)

1. 準(zhǔn)確、可靠和低維護(hù)成本的潔凈室污染控制

2. 快速的響應(yīng)時(shí)間，以捕捉濃度突然上升

3. 獨(dú)立運(yùn)行系統(tǒng)，內(nèi)置氣體交換泵

4. 無(wú)耗材或者化學(xué)試劑

5. 短光程，單點(diǎn)校準(zhǔn)也可達(dá)到業(yè)內(nèi)先的動(dòng)態(tài)量程

6. 直接吸收測(cè)量，無(wú)漂移

7. 校準(zhǔn)間隔長(zhǎng)（可達(dá)數(shù)年）

8.高選擇性，不受乙醛和其他VOC的干擾

特點(diǎn)

1. 高選擇性的監(jiān)測(cè)痕量水平的CF4

2. 檢測(cè)下限(LoD)低于0.1 ppb

3. 響應(yīng)時(shí)間可設(shè)置，從5秒到3分鐘

4. 動(dòng)態(tài)范圍寬，運(yùn)行穩(wěn)定

5. 無(wú)耗材

6. 低樣品量（幾ml）

7. 內(nèi)置氣體交換系統(tǒng)

8. 重新校準(zhǔn)間隔長(zhǎng)（幾個(gè)月）

9. 直觀的用戶界面

10. 內(nèi)置顯示屏，可數(shù)字式或者圖線式顯示結(jié)果

11. 可通過(guò)局域網(wǎng)遠(yuǎn)程操作

技術(shù)原理

1. 工作原理：紅外光聲光譜

2. 超靈敏zhuan利光學(xué)麥克風(fēng)，基于微電機(jī)懸臂梁傳感器，結(jié)合激光干涉儀測(cè)量懸臂梁的微觀運(yùn)動(dòng)

3. 光源：分布式反饋量子級(jí)聯(lián)激光

4. 樣品池溫度穩(wěn)定于50℃

環(huán)境

1. 運(yùn)行條件

2. 溫度范圍：0℃～+49℃

3. 濕度：無(wú)凝露

4. 壓力：750mbar～1050 mbar

5. 防塵/水等級(jí)：IP20(IEC 529)

6. 儲(chǔ)存條件

7. 溫度范圍：-20℃～+60℃

8. 樣品氣體條件

9. 溫度范圍：0℃～+49°C

10. 濕度：無(wú)凝露，溫度達(dá)35°C時(shí)最大相對(duì)濕度80%，溫度達(dá)49°C時(shí)線性下降至35%

11. 壓力：750 mbar～1050 mbar

12. 氣流：約1L/min

13. 顆粒物<1μm

通用

1. 19”3U外殼，適用于臺(tái)式或者機(jī)架固定安裝

2. 尺寸：48.4 cm W x 13.9 cm H x 44 cm D；便攜式尺寸：51.85cmx40.5cmx23cm

3. 重量：約13 Kg（便攜式約15Kg）

4. 內(nèi)置計(jì)算機(jī)，帶7”寬屏顯示器

5. 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)：在最短采樣間隔連續(xù)監(jiān)測(cè)的情況下，足夠存儲(chǔ)一年

6. 內(nèi)部總氣路體積：30ml

7. 電源

8. 輸入電壓：90～264 VAC，47～63 Hz

9. 輸入功率：最大75W

10. 接口：以太接口，USB，可選RS485，RS232，電流輸出，電壓輸出，MODBUS和AK協(xié)議

11. DKG ONE-CF4可以通過(guò)智能手機(jī)，平板，電腦或者另一臺(tái)DKG ONE-CF4（即將推出)遠(yuǎn)程控制

測(cè)量參數(shù)

1. 響應(yīng)時(shí)間：取決于用戶可定義通道積分時(shí)間CIT以及氣體沖洗設(shè)定。根據(jù)平均時(shí)間和采樣設(shè)定從大約10秒到幾分鐘不等

2. 監(jiān)測(cè)下限：小于0.1ppb

3. 動(dòng)態(tài)量程：大于5個(gè)數(shù)量級(jí)（檢測(cè)下限的100,000倍)

4. 重復(fù)性：運(yùn)行條件下，校準(zhǔn)濃度重復(fù)性小于1%

5. 準(zhǔn)確度：校準(zhǔn)濃度高于5%，受限于校準(zhǔn)氣體準(zhǔn)確度

6. 溫度穩(wěn)定性：在運(yùn)行溫度范圍內(nèi)的環(huán)境溫度變化不會(huì)導(dǎo)致漂移

7. 壓力穩(wěn)定性：壓力范圍內(nèi)的樣品壓力變化不會(huì)導(dǎo)致漂移

標(biāo)準(zhǔn)

1. 符合低電壓指令2014/35 / EU，EMC指令2004/108 / EC和ROHS 2指令2011/65 / EU

機(jī)箱選項(xiàng)

單氣體分析

DKG ONE-CF4為用戶提供簡(jiǎn)潔直觀的用戶界面，包括一塊高分辨率的顯示屏和一個(gè)旋轉(zhuǎn)按鈕。

便攜操作

可選的便攜式外箱適用于可預(yù)見(jiàn)泄漏區(qū)域的檢測(cè)。

移動(dòng)式整合方案

幾個(gè)DKG ONE-CF4單元可以整合在同一個(gè)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，移動(dòng)式平臺(tái)可以快速的移動(dòng)到不同的關(guān)鍵測(cè)點(diǎn)。