測試薄膜的介電常數(shù)儀器設(shè)備片狀電容器和半導體晶圓的電容值現(xiàn)已到毫微微法拉（fF）級。為實現(xiàn)更高的良率和設(shè)計可靠性，需要執(zhí)行極其穩(wěn)定和精確的的高阻抗測量。在這方面的性能遠遠超過了早期已成為行業(yè)標準的 LCR 表，可進一步改善小電容器件的測量穩(wěn)定性。

詳細介紹

測試薄膜的介電常數(shù)儀器設(shè)備系列

樹立 LCR 表

精密 LCR 表實現(xiàn)精度、速度與通用性的*結(jié)合，適用于各種類型的元件測量。無論是在低阻抗量程還是高阻抗量程，均具有極快的測量速度和出色的測量性能，因此是常規(guī)的元件研發(fā)測試和制造測試以及材料測試的理想工具。

極快的測量速度

提供極快的測量速度：– 5.6 ms (短時間)2 ， – 88 ms (中等時間)2 ，– 220 ms (長時間)2

精確的測量

在低阻抗和高阻抗量程均具有極低的噪聲，能以優(yōu)異的精度和可重復性測試電感器和電容器的性能特征。

– 0.05% 基本阻抗精度，-1/2/4米電纜延長功能，-開路/短路/負載校正

主要特性

的測量精度

在低阻抗和高阻抗測試量程上均具有極低的噪聲, 可顯著提高測試質(zhì)量。– 0.05 % 基本阻抗精度，– 支持開路/短路/負載補償，– 支持電纜延長M (1/2/4 米)

豐富的測量功能

– 20 Hz 至 2 MHz 測試頻率范圍, 在任何頻率上均可達到 4 位分辨率，– 16 種阻抗參數(shù)，– 100 μV 至 2 Vrms, 1 μA 至 20 mA 可變測試信號，– 自動電平控制，– 201 點可編程列表掃描

選件功率和直流偏置增強

– 0 至 20 Vrms/100 mArms 測試信號，– 內(nèi)置 40 V 直流偏置, 0.3 mV 分辨率，– 內(nèi)置 10 V 直流電源，– 直流電阻、直流電流和直流電壓測量功能。

高達 2 MHz 的精確和快速的測量

精確的測量結(jié)果讓用戶對設(shè)計與測試充滿信心

廣泛的阻抗測量

LCR 表性能，適用于所有阻抗測量?？箿y量。

要滿足當前新器件的測試要求，需要可靠的測量性能。只有能同時在低阻抗量程和高阻抗量程上，提供極快的測量速度和出色的測量性能，以及*的耗散系數(shù)精度。

穩(wěn)定的小 ESR/低阻抗測量

為滿足高速和低功耗電路的需求，電容器的等效串聯(lián)電阻 (ESR) 正變得越來越小，給測量造成很大的麻煩。在這方面的測量性能具有*的穩(wěn)定性。

極其精確的高阻抗測量

片狀電容器和半導體晶圓的電容值現(xiàn)已到毫微微法拉 (fF) 級。為實現(xiàn)更高的良率和設(shè)計可靠性，需要執(zhí)行極其穩(wěn)定和精確的的高阻抗測量。在這方面的性能遠遠超過了早期已成為行業(yè)標準的 LCR 表，可進一步改善小電容器件的測量穩(wěn)定性。

提供業(yè)界*的速度和精度組合

6 種方便的顯示模式

可任選 6 種顯示模式之一，適應(yīng)您特定的測量需求。– 正常視圖, 查看測試數(shù)據(jù)的各個方面，– 放大視圖, 讓讀數(shù)更容易查看，– 料倉號視圖, 比較測量結(jié)果并對器件進行分類，– 料倉計數(shù)視圖, 用于統(tǒng)計和評定，

– 列表掃描視圖, 用于顯示連續(xù)數(shù)據(jù)，– 空屏視圖, 在zui高測試速度時關(guān)閉顯示屏，節(jié)省屏幕刷新時間。

直流參數(shù)測量 (選件 001)

同時測量直流電壓、直流電流和阻抗。

也可為電容測試進行泄漏電流測量。

40 V 直流偏置 (選件 001)

內(nèi)置寬范圍 (± 40 Vdc/100 mA) 直流偏置

源支持精確評測直流偏置與阻抗的關(guān)系。

直流電源 (選件 001)

提供附加的獨立直流電源端口，以擴展直流

控制和偏置應(yīng)用的靈活性。例如，該選件可

用于三端口器件的測量，使您能控制被測器

件、增加額外的偏置，并同時控制其他器件。

201 點列表掃描

頻率、測量范圍和激勵條件均可作為列表參

數(shù)設(shè)置 (zui多 201 個點)。您可以分別選擇

兩個參數(shù)，用以在各種測量條件下測試。

直流電阻測量

對于電感器測量，可以同時測量 Ls、Lp 和

Rdc 參數(shù)。

功率和直流偏置增強

20 Vrms 測試信號 (選件 001)

強大的交流測試信號輸出達 20 Vrms、

100 mArms (zui大值)，從而使您在測試器

件對交流電平的依賴性時無需使用外部放

大器。

工作效率超出預期水平

支持各種測試夾具

可使用超過 20 種夾具，以滿足從

材料到 SMD 元件的不同測量需求。內(nèi)置

補償功能可將測試夾具的影響降至zui低。

USB 存儲器支持

前面板上的 USB 存儲器接口可讓您快速、

輕松地將狀態(tài)文件、測量記錄數(shù)據(jù)和顯示

圖像保存到外部 USB 存儲器設(shè)備 (大容量存儲器)。

PC 連通性

標配 GPIB/LAN/USB 控制接口提供各種控制儀器的途徑。使用 LAN 電纜，您甚至能用計算機和網(wǎng)絡(luò)瀏覽器控制 E4980A。

掃描儀或機械手接口選件

提供一個光隔離 9 料倉機械手(選件 201)，可集成到機械手系統(tǒng)中。128 通道掃描儀接口 (選件 301) 能夠為需要元件掃描儀的應(yīng)用提供便利。這兩種接口都能兼容其他 LCR 系統(tǒng)儀器 (例如4284A/88A/78A)，因此能輕松地集成到系統(tǒng)中。多補償功能可以啟用開路/短路/負載補償，在每個掃描儀通道中單獨執(zhí)行掃描測量。這樣可以盡量減小不同通道之間測量值的不*性，使整個掃描儀系統(tǒng)能夠執(zhí)行更精確的測量。

可升級

E4980AU-001 (功率和直流偏置增強)、E4980AU-201 (機械手接口)、E4980AU-301(掃描儀接口) 等升級選件使您的投資可以獲得zui大回報。詳情參見配置指南。

7 | 公司 | E4980A 精密 LCR 表－手冊

增強的測試效率

公司 4284A 精密 LCR 表和 4279A1 MHz C-V 表一直被*為是行業(yè)標準的測試設(shè)備，廣泛用于各種阻抗測量應(yīng)用。

E4980A LCR 表綜合了速度、精度和強大的功能特性，可以*提高您的測量效率并簡化測量工作。

高度兼容性可以簡化型號過渡

E4980A 幾乎所有功能都與 4284A 和 4279A兼容，因此用戶能夠非常輕松地過渡到使用 E4980A 執(zhí)行測量。有關(guān)過渡的更多信息，請參閱我們上的技術(shù)概述《從公司 4284A 過渡到公司E4980A 精密 LCR 表》和《從公司4279A 過渡到公司 E4980A 精密 LCR 表》

主要技術(shù)指標和功能兼容性

	E4980A 精密 LCR 表	4284A 精密 LCR 表	4279A C-V 表
頻率	20 Hz 至 MHz	20Hz 至 1 KHz	1 MHz
測試信號電平	0 至 2 Vrms/0 至 20 mArms	0 至 2 Vrms/0 至 20 mArms	20 m、50 m、100 m、200 m、
測試信號電平	0 至 2 Vrms/0 至 100 mArms1	0 至 2 Vrms/0 至 200 mArms2	500 m、1 Vms
自動電平控制 (ALC)	支持	支持	不支持
直流偏置功能	內(nèi)置 1.5 V、2 V	內(nèi)置 1.5 V、2 V	內(nèi)置 ± 38 V
直流偏置功能	± 40 V1	± 40 V2	外部偏置輸入
直流電源	± 10 V 1	不支持	不支持
可編程列表掃描	201 點	10 點	51 點
遠程控制	GPIB、LAN、USB	GPIB	GPIB
網(wǎng)絡(luò)瀏覽器控制	支持	不支持	不支持
控制命令	4284A 兼容	4284A *	4279A *
基本精度	0.1% (短時間)	0.1% (短時間)	0.1% (短時間)
基本精度	0.05% (中等時間/長時間)	0.05% (中等時間/長時間)
參數(shù)	Cp-D/Q/G/Rp、Cs-D/Q/Rs、	Cp-D/Q/G/Rp、Cs-D/Q/Rs、	C-D/Q/ESR/G
	Lp-D/Q/G/Rp、Ls-D/Q/Rs、	Lp-D/Q/G/Rp、Ls-D/Q/Rs、
	R-X、Z-Ød/Ør、G-B、Y-Ø/Ør	R-X、Z-Ød/Ør、G-B、Y-Ø/Ør
	Lp-Rdc、Ls-Rdc、Vdc-Idc1
測量時間模式	標準型
(短時間/中等時間)	330 ms/380 ms, 20 Hz	1500 ms/1500 ms, 20 Hz	10 ms, 1 MHz
	20 ms/110 ms, 1 kHz	270 ms/400 ms, 100 Hz	(列表掃描模式, 偏置開啟)
	7.7 ms/92 ms, 10 kHz	40 ms/190 ms, 1 kHz
	5.7 ms/89 ms, 100 kHz	30 ms/180 ms, 10 kHz
	5.6 ms/88 ms, 1 MHz	30 ms/180 ms, 100 kHz
	5.6 ms/88 ms, 2 MHz	30 ms/180 ms, 1 MHz
	入門級型號 (E4980A-005)
	1040 ms/1150 ms, 20 Hz
	240 ms/380 ms, 100 Hz
	37 ms/200 ms, 1 kHz
	25 ms/180 ms, 10 kHz
	23 ms/180 ms, 100 kHz
	23 ms/180 ms, 1 MHz
	23 ms/180 ms, 2 MHz
存儲器件	內(nèi)部/USB 存儲器	內(nèi)部/存儲器卡	內(nèi)部
電纜長度	0、1、2、4 米	0、1、13、4 3 米	0、1、2 米
儀表體積 (毫米)	370 (寬) x 105 (高) x 390 (深) 毫米	426 (寬 )x 177 (高) x 498 (深) 毫米	426 (寬) x 177 (高) x 498 (深)毫米
重量	5.3 kg	15 kg	15 kg

E4980A 精密 LCR 表, 20 Hz 至 2MHz (zui高的精度和速度)

E4980A-005 入門級型號的精密 LCR 表，20 Hz 至 2MHz (精度相同但速度稍低)

功率和直流偏置增強選件

E4980A-001 功率和直流偏置增強

DCR 測量選件 (必選)

E4980A-200 DCR 測量

接口選件

E4980A-710 無接口

E4980A-002 偏置電流接口

E4980A-201 機械手接口

E4980A-301 掃描儀接口

其他選件

E4980A-ABA 添加印刷版用戶指南 (英語)

E4980A-ABJ 添加印刷版用戶指南(日語)

E4980A-1A7 添加 ISO 17025

*性校準

E4980A-1CM1 添加機架安裝套件

功率/直流偏置相關(guān)選件 (下面兩種選件任選其一)

功能特征	E4980A 標準型	E4980A-001 功率和直流偏置增強
交流測試信號	0 至 2 Vrms, 20 mArms	0 至 2 Vrms, 20 mArms
直流偏置	1.5 V 和 2 V	0 至 ±40 V, ±100 mA
直流電源	–	有 (0 至 ±10V)
DCR/DCI/DCV 測量	–	支持
自動偏置極性控制1	–	支持

接口相關(guān)選件 (下面兩種選件任選其一) 2

選件 E4980A-710	E4980A-002	E4980A-201	E4980A-301
無接口	偏置電流接口	機械手接口	掃描儀接口
功能空面板	控制 42841A 偏置電流源3	支持連接機械手系統(tǒng)	支持連接掃描儀系統(tǒng)