1噸超純水設(shè)備主要簡(jiǎn)介

本系統(tǒng)主要用于超純水的制取，預(yù)處理部分能有效的去除水中懸浮物、降低fe、sio2離子含量及出水濁度，吸附水中的有機(jī)物、膠體渣、氯化物及降低出水色度、濁度，亦可去除水中異味。混床工藝出水水質(zhì)好（出水電導(dǎo)率小于0.2us/cm）,運(yùn)行穩(wěn)定和交換終點(diǎn)明顯等優(yōu)點(diǎn)

新興的光電材料生產(chǎn)、加工、清洗;LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏、高品質(zhì)燈管顯像管、微電子工業(yè)、FPC/PCB線路板、電路板、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對(duì)水質(zhì)的要求也越高，這也對(duì)超純水處理工藝及產(chǎn)品的簡(jiǎn)易性、自動(dòng)化程度、生產(chǎn)的連續(xù)性、可持續(xù)性等提出了更加嚴(yán)格的要求。

1噸超純水設(shè)備一般工藝流程

1、預(yù)處理-反滲透-純化水箱-離子交換器-紫外燈-純水泵-用水點(diǎn)

2、預(yù)處理-一級(jí)反滲透-二級(jí)反滲透(正電荷反滲膜)-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點(diǎn)

3、預(yù)處理-反滲透-中間水箱-中間水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點(diǎn)

4、預(yù)處理→紫外線殺菌裝置→一級(jí)RO裝置→二級(jí)RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOCUV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點(diǎn)