實(shí)時(shí)終點(diǎn)檢測(cè)和檢漏

INFICON Quantus LP100 氣體分析儀可在關(guān)鍵過(guò)程環(huán)境中進(jìn)行實(shí)時(shí)檢漏和終點(diǎn)檢測(cè)。許多過(guò)程對(duì)泄漏都很敏感，或要求進(jìn)行終點(diǎn)檢測(cè)。Quantus LP100 是一種氣體分析儀，專門用于實(shí)時(shí)應(yīng)對(duì)敏感過(guò)程環(huán)境中的細(xì)微變化，以*大限度地減少報(bào)廢，提高產(chǎn)出。

典型應(yīng)用

• 太陽(yáng)能/光伏設(shè)備制造
• LCD 制造
• PVD 過(guò)程監(jiān)控
• 監(jiān)控過(guò)程氣體壓力和氣體比率
• 暴露和鑒別污染
• 檢測(cè)和查找泄漏（空氣、氦氣、水及其他蒸汽）
• PM 恢復(fù)/故障排除和驗(yàn)證基本真空

功能

• 方便的現(xiàn)場(chǎng)可更換等離子單元
• 使用標(biāo)準(zhǔn) KF25 連接方便地安裝
• 更低的維護(hù)成本
• 低至 ppm 級(jí)的出色檢測(cè)下限
• 工作范圍為 10 mTorr 至 1 Torr
• *可靠性：無(wú)需泵
• 低擁有成本
• 快速的 10 Hz 采樣頻率
• 精致小巧（高 x 寬 x 長(zhǎng)）87 x 151 x 241 mm (3.4 x 5.9 x 9.5 in.)
• 有經(jīng)驗(yàn)的現(xiàn)場(chǎng)培訓(xùn) INFICON 工程師提供支持

我們致力于*真空技術(shù)的推廣、應(yīng)用，從中低真空、高真空、到超高真空，我們可以根據(jù)客戶的要求**合適的真空產(chǎn)品，提供*上等的真空解決方案，為廣大用戶改進(jìn)生產(chǎn)工藝，提升競(jìng)爭(zhēng)力提供產(chǎn)品服務(wù)和技術(shù)和支持。