日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型
配備了于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準(zhǔn)確掌握微小的振動。
高速計算由我們獨chuang的主動隔振算法執(zhí)行,而振動立即由高精度大功率執(zhí)行器消除。
日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型
配備了于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準(zhǔn)確掌握微小的振動。
高速計算由我們獨chuang的主動隔振算法執(zhí)行,而振動立即由高精度大功率執(zhí)行器消除。
我們地板側(cè)慷慨地部署了超靈敏的加速度傳感器,并通過前饋控制實現(xiàn)了世界z高水平的隔振性能。
在保持高性能且高精度的隔振性能而沒有共振現(xiàn)象的同時,還可以在短時間內(nèi)同時衰減由安裝臺的激振力施加的振動。
配備舞臺前饋功能和波形顯示軟件作為標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。
特點
- 振動傳遞特性無共振。實現(xiàn)從低頻到高頻的超寬帶隔振。
- 具有6個自由度的高精度位置控制始終可實現(xiàn)穩(wěn)定的隔振性能和位置精度。
- 可以選擇具有高響應(yīng)速度的大流量閥,以應(yīng)對較大的移動負(fù)載。
- 安全可靠的設(shè)計與CE標(biāo)記兼容。(控制器SAC-07)
- 標(biāo)配臺前饋功能和振動波形顯示分析軟件。
用途
- 在半導(dǎo)體制造和檢查設(shè)備中,它被用作對付需要精細(xì)處理的晶片上的振動的對策,并且被用作對付晶片移動臺上的振動的對策。
- 在液晶制造和檢查設(shè)備中,其目的是在龍門架或工作臺顯著移動時快速衰減振動,并立即對其進(jìn)行檢查或糾正,這有助于縮短節(jié)拍時間。
- 在超精密機(jī)床中,它用于消除工作臺上的振動以進(jìn)行精密加工,同時支持大載荷的運動。
日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型
模型 | 可安裝質(zhì)量(1個單位) | 尺寸(1個單位) |
---|
VAAV-550A | 270-900公斤 | 215(寬)x 160(深)x 170(高)毫米 |
VAAV-1000A | 500-1700公斤 | 225(寬)x 210(深)x 170(高)毫米 |
VAAV-2200A | 1100-3700公斤 | 280(寬)x 240(深)x 208(高)mm |
VAAV-4000A | 2100-7000公斤 | 330(W)x 270(D)x 208(H)毫米 |
VAAV-10000A | 5000-17000公斤 | 465(寬)x 400(深)x 240(高)mm |
VAAV-20000A | 11400-38000公斤 | 600(W)x 600(D)x 284(H)毫米 |
VAAV-30000A | 15000-50000公斤 | 700(W)x 700(D)x 182(H)毫米 |
HA-450水平執(zhí)行器 | 480(寬)x 365(深)x 405(高)毫米 |