lintec高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器MC-3000L

高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器，具有 ±1% SP 保證。

使用示例

半導(dǎo)體制造預(yù)處理

由于CVD（化學(xué)氣相沉積）ALD沉積設(shè)備和蝕刻設(shè)備中使用高活性氣體，因此具有高耐腐蝕性金屬密封的氣體質(zhì)量流量控制器至關(guān)重要。

此外，前驅(qū)體在常溫常壓下含有大量液化氣體，因此具有耐熱性且不易液化的閥門結(jié)構(gòu)很重要。 MC-3000L高精度質(zhì)量流量控制器可從液化氣選項(xiàng)中選擇，最高工作溫度為50°C（可選55°C）。

分析器

分析儀可能需要控制分鐘流速，但一般質(zhì)量流量控制器的最小F.S.為5 SCCM，無(wú)法控制分鐘流速。 MC-3000L高精度質(zhì)量流量控制器可選配F.S.1SCCM或更低尺寸。 詳情請(qǐng)聯(lián)絡(luò)我們。

此外，高精度質(zhì)量流量控制器MC-3000L還標(biāo)配低死體積隔膜閥。

lintec高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器MC-3000L

規(guī)格

* 規(guī)格表為具有一般規(guī)格的質(zhì)量流量控制器。 可以通過(guò)選項(xiàng)進(jìn)行更改。