日本lintec小型燃?xì)饧訜崞?HX-0020

緊湊型緊湊型氣體加熱，最高加熱溫度為200°C。

特點(diǎn)

使用示例

原子層沉積和 CVD 設(shè)備熱吹掃

液化氣體通常用于ALD和CVD等真空沉積，但用室溫氣體吹掃會使溫度冷卻并冷凝，相反，吹掃可能不足。 這就是熱吹掃的用武之地。 緊湊型氣體加熱器 （HX-0020） 的占地面積與 MFC 沒有太大區(qū)別，可以加熱到 200°C，使氣體加熱接近使用點(diǎn)，使其成為 ALD 和 CVD 等真空沉積設(shè)備熱吹掃的理想選擇。

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