測量范圍	0kPa	電源電壓	+14…+30 VDC或±15 V（±5％）V
防護等級	IP 40	加工定制	否
精度等級	（1）	類型	其他
輸出信號	0…+10mA

SKY®CDG045D 0.05 ... 1000Torr /mbar

INFICON SKY CDG045D壓力表是進行高精度總壓力測量和控制的選擇。CDG045D壓力計的溫度控制在45°C，以提供出色的信號穩(wěn)定性和可重復性。它們適用于50 mTorr至1000 Torr的滿量程范圍，具有所有常見的法蘭類型和現(xiàn)場總線接口，并提供線性0至10 V，與氣體類型無關的壓力信號。INFICON電容壓力計使用防腐蝕的超純氧化鋁陶瓷膜片。陶瓷傳感器的優(yōu)點是信號穩(wěn)定性更好，從大氣中恢復更快，預熱時間短以及使用壽命長。INFICON CDG是高質(zhì)量，高性價比的壓力傳感器，適用于要求苛刻的真空應用。

INFICON SKY CDG045D電容膜片計是Oerlikon Leybold CTR 101變送器的直接替代品。從制造商那里獲得原始產(chǎn)品，并為所有應用提供支持和解決方案。

INFICON 3CC1-951-2300

法蘭型	全尺寸	INFICON零件號	Oerlikon Leybold零件號
	[Torr]	CDG045D	CTR 101
DN 16 ISO-KF	1000	3CC1-F51-2300	230320
	100	3CC1-C51-2300	230321
	10	3CC1-951-2300	230322
	1個	3CC1-651-2300	230323
	0.1	3CC1-351-2300	230324

DN16 CF-R	1000	3CC1-F53-2300	230325
	100	3CC1-C53-2300	230326
	10	3CC1-953-2300	230327
	1個	3CC1-653-2300	230328
	0.1	3CC1-353-2300	230329

Cajon 8VCR	1000	3CC1-F5E-2300	230330
	100	3CC1-C5E-2300	230331
	10	3CC1-95E-2300	230332
	1個	3CC1-65E-2300	230333
	0.1	3CC1-35E-2300	230334

1/2“tube	1000	3CC1-F59-2300	230335
	100	3CC1-C59-2300	230336
	10	3CC1-959-2300	230337
	1個	3CC1-659-2300	230338
	0.1	3CC1-359-2300	230339

技術指標

類型		1000托，1100毫巴	500 ... 1托/毫巴	0.5 ... 0.05托/毫巴
準確性（1）	閱讀百分比	0.15	0.15	0.15
溫度效應
在零	FS /°C的百分比	0.0025	0.0025	0.005
跨度	讀數(shù)％/°C	0.01	0.01	0.01
大壓力	kPa（值）	400	260	130
解析度	FS百分比	0.003	0.003	0.003
低讀數(shù)	FS百分比	0.01	0.01	0.01
建議低閱讀	FS百分比	0.05	0.05	0.05
低建議控制壓力	FS百分比	0.5	0.5	0.5
溫度
操作（環(huán)境）	°C	+10…+40	+10…+40	+10…+40
法蘭烘烤	°C	≤110	≤110	≤110
存儲	°C	–20…+65	–20…+65	–20…+65
電源電壓		+14…+30 VDC或±15 V（±5％）	+14…+30 VDC或±15 V（±5％）	+14…+30 VDC或±15 V（±5％）
能量消耗
加熱期間	w ^	≤12	≤12	≤12
在工作溫度下	w ^	≤8	≤8	≤8
輸出信號（模擬）	V（直流）	0…+10	0…+10	0…+10
響應時間（2）	女士	30	30	130/30 （3）
防護等級		IP 40	IP 40	IP 40
標準品
CE符合性		EN 61000?6?2 / 2 / -6-3，EN 61010和RoHS	EN 61000?6?2 / 2 / -6-3，EN 61010和RoHS	EN 61000?6?2 / 2 / -6-3，EN 61010和RoHS
ETL認證		UL 61010?1，CSA 22.2 61010?1	UL 61010?1，CSA 22.2 61010?1	UL 61010?1，CSA 22.2 61010?1
符合SEMI		SEMI S2	SEMI S2	SEMI S2
電氣連接		D-sub，15針，公頭	D-sub，15針，公頭	D-sub，15針，公頭
設定點
設定點數(shù)		2（SP1，SP2）	2（SP1，SP2）	2（SP1，SP2）
繼電器接點	V（直流） A（直流）	≤30	≤30	≤30
磁滯現(xiàn)象	FS百分比	1個	1個	1個
診斷端口
協(xié)議		RS232-C	RS232-C	RS232-C
讀		壓力，狀態(tài)，ID	壓力，狀態(tài)，ID	壓力，狀態(tài)，ID
組		設定點，濾波器，調(diào)零，恢復出廠設置，直流偏移	設定點，濾波器，調(diào)零，恢復出廠設置，直流偏移	設定點，濾波器，調(diào)零，恢復出廠設置，直流偏移
暴露于真空中的材料		氧化鋁陶瓷（AI 2 O 3），不銹鋼（AISI 316L （4））	氧化鋁陶瓷（AI 2 O 3），不銹鋼（AISI 316L （4））	氧化鋁陶瓷（AI 2 O 3），不銹鋼（AISI 316L （4））
內(nèi)部容積
I.容積1/2''管	立方厘米（in.³）	4.2（0.26）	4.2（0.26）	4.2（0.26）
I.體積DN 16 ISO KF	立方厘米（in.³）	4.2（0.26）	4.2（0.26）	4.2（0.26）
I.體積DN 16 CF-R	立方厘米（in.³）	4.2（0.26）	4.2（0.26）	4.2（0.26）
I.第8卷VCR®	立方厘米（in.³）	4.2（0.26）	4.2（0.26）	4.2（0.26）
重量
重量1/2英寸管	G	837	837	837
重量DN 16 ISO KF	G	852	852	852
重量DN 16 CF-R	G	875	875	875
重量8VCR®	G	897	897	897
以太網(wǎng)貓
協(xié)議EtherCAT		于EtherCAT的協(xié)議	于EtherCAT的協(xié)議	于EtherCAT的協(xié)議
通訊標準		ETG.5003第1部分“半導體設備配置文件” ETG.5003第2080部分“特定設備配置文件：真空壓力表”	ETG.5003第1部分“半導體設備配置文件” ETG.5003第2080部分“特定設備配置文件：真空壓力表”	ETG.5003第1部分“半導體設備配置文件” ETG.5003第2080部分“特定設備配置文件：真空壓力表”
節(jié)點地址		顯式設備識別	顯式設備識別	顯式設備識別
物理層		100BASE-Tx（IEEE 802.3）	100BASE-Tx（IEEE 802.3）	100BASE-Tx（IEEE 802.3）
讀取數(shù)字功能		壓力，狀態(tài)，ID	壓力，狀態(tài)，ID	壓力，狀態(tài)，ID
數(shù)字功能集		設定點，濾波器，調(diào)零，復位，直流偏移	設定點，濾波器，調(diào)零，恢復出廠設置，直流偏移	設定點，濾波器，調(diào)零，恢復出廠設置，直流偏移
處理數(shù)據(jù)		固定的PDO映射和可配置的PDO映射	固定的PDO映射和可配置的PDO映射	固定的PDO映射和可配置的PDO映射
Mailbox（CoE）		SDO請求，響應和信息	SDO請求，響應和信息	SDO請求，響應和信息
EtherCAT連接器		RJ45，8針（插座），IN和OUT	RJ45，8針（插座），IN和OUT	RJ45，8針（插座），IN和OUT
電纜		屏蔽以太網(wǎng)CAT5e或更高	屏蔽以太網(wǎng)CAT5e或更高	屏蔽以太網(wǎng)CAT5e或更高
電纜長度	米（英尺）	≤100（330）	≤100（330）	≤100（330）
DeviceNet™
協(xié)議		DeviceNet™，僅組2從站	DeviceNet™，僅組2從站	DeviceNet™，僅組2從站
數(shù)據(jù)速率	波特率	通過交換機或網(wǎng)絡可編程的125、250、500	通過交換機或網(wǎng)絡可編程的125、250、500	通過交換機或網(wǎng)絡可編程的125、250、500
電纜長度125 kbps	米（英尺）	500（1650）	500（1650）	500（1650）
電纜長度250 kbps	米（英尺）	250（825）	250（825）	250（825）
電纜長度500 kbps	米（英尺）	100（330）	100（330）	100（330）
MAC ID		通過交換機或網(wǎng)絡可編程的地址00-63	通過交換機或網(wǎng)絡可編程的地址00-63	通過交換機或網(wǎng)絡可編程的地址00-63
讀取數(shù)字功能		壓力，狀態(tài)，ID	壓力，狀態(tài)，ID	壓力，狀態(tài)，ID
數(shù)字功能集		設定點，濾波器，調(diào)零，復位，直流偏移	設定點，濾波器，調(diào)零，恢復出廠設置，直流偏移	設定點，濾波器，調(diào)零，恢復出廠設置，直流偏移
規(guī)格		DeviceNet™“真空計設備配置文件”（ODVA）	DeviceNet™“真空計設備配置文件”（ODVA）	DeviceNet™“真空計設備配置文件”（ODVA）
設備類型		``VG''真空計	``VG''真空計	``VG''真空計
I / O從屬消息傳遞		僅輪詢	僅輪詢	僅輪詢
D-sub連接器上的儀表電源電壓		+14…+30 VDC或±15 V /≤12W	+14…+30 VDC或±15 V /≤12W	+14…+30 VDC或±15 V /≤12W
微型連接器上DeviceNet收發(fā)器的電源電壓		標稱值為24 V / <2 W（11…25 V）	標稱值為24 V / <2 W（11…25 V）	標稱值為24 V / <2 W（11…25 V）
DeviceNet™連接器		微型，5針，公頭	微型，5針，公頭	微型，5針，公頭
CDG的連接器（模擬輸出，電源CDG，設定值）		D-sub，15針，公頭	D-sub，15針，公頭	D-sub，15針，公頭
Profibus DP
波特率	波特率姆博德	9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500	9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500	9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址		通過交換機或網(wǎng)絡可編程地址00-125	通過交換機或網(wǎng)絡可編程地址00-125	通過交換機或網(wǎng)絡可編程地址00-125
數(shù)字功能閱讀		壓力，狀態(tài)，ID	壓力，狀態(tài)，ID	壓力，狀態(tài)，ID
數(shù)字功能集		設定點，濾波器，調(diào)零，恢復出廠設置，直流偏移	設定點，濾波器，調(diào)零，恢復出廠設置，直流偏移	設定點，濾波器，調(diào)零，恢復出廠設置，直流偏移
Profibus DP的連接器		D-sub，9針，母	D-sub，9針，母	D-sub，9針，母
CDG連接器（模擬輸出，電源電壓，設定值）		D-sub，15針，公頭	D-sub，15針，公頭	D-sub，15針，公頭

（1）非線性，磁滯，在25°C的環(huán)境工作溫度下可重復性，工作2小時后沒有溫度影響。

（2）增加10…90％FS

（3）僅用于壓力控制類型

（4）18％Cr，10％Ni，3％Mo，69％Fe

好處

與CTR 101變送器*兼容
較低的CoO（擁有成本），預熱速度提高50％，節(jié)能高效，低功耗
易于集成，滿量程，法蘭和接口種類繁多，標配兩個設定點
簡單的一個按鈕或遠程信號調(diào)零命令，零偏移量可調(diào)
診斷端口，用于快速維修和保養(yǎng)
兩年保修，使用壽命更長，具有*的加熱原理和儀表保護
出色的信號穩(wěn)定性和可重復性，即使在苛刻的等離子應用中也無需*重新校準
符合標準：CE，EN，UL，SEMI，RoHS

典型應用

蝕刻，CVD，PVD和其他半導體生產(chǎn)工藝
化學和腐蝕性真空工藝
一般薄膜和真空工藝
參考傳感器，用于根據(jù)標準監(jiān)控測試儀器
追溯標準的轉(zhuǎn)移標準

CDG045D系列替代CTR 101真空變送器的價格下降了100％。

隨著EtherCAT的數(shù)字接口現(xiàn)已上市！

零件號

1000托，1100毫巴

零件號	描述
3CC1-351-2300	CDG045D 0.1 Torr; 16-KF
3CC1-353-2300	CDG045D 0.1 Torr; 16-CF
3CC1-359-2300	CDG045D 0.1 Torr; 1/2¨Ø
3CC1-35E-2300	CDG045D 0.1 Torr; 8-VCR
3CC1-651-2300	CDG045D 1 Torr; 16-KF.
3CC1-653-2300	CDG045D 1 Torr; 16-CF
3CC1-659-2300	CDG045D 1 Torr; 1/2¨Ø
3CC1-65E-2300	CDG045D 1 Torr; 8-VCR
3CC1-951-2300	CDG045D 10 Torr; 16-KF
3CC1-953-2300	CDG045D 10 Torr; 16-CF
3CC1-959-2300	CDG045D 10 Torr; 1/2"Ø
3CC1-95E-2300	CDG045D 10 Torr; 8-VCR
3CC1-C51-2300	CDG045D 100 Torr; 16-KF
3CC1-C53-2300	CDG045D 100 Torr; 16-CF
3CC1-C59-2300	CDG045D 100 Torr; 1/2"Ø
3CC1-C5E-2300	CDG045D 100 Torr; 8-VCR
3CC1-F51-2300	CDG045D 1000 Torr; 16-KF
3CC1-F53-2300	CDG045D 1000 Torr; 16-CF
3CC1-F59-2300	CDG045D 1000 Torr; 1/2"Ø
3CC1-F5E-2300	CDG045D 1000 Torr; 8-VCR

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